Nhà máy sản xuất chất bán dẫn phục hồi hơn 1.400 giờ thời gian dụng cụ xử lý

Giá trị của một tấm wafer bán dẫn hàng đầu được ước tính là $17.000*. Thời gian ngừng hoạt động trên một công cụ quy trình duy nhất có thể làm gián đoạn sản xuất và nhanh chóng gây ra thất bại trong sản lượng tấm wafer, năng suất và thời gian chu trình. Thời gian hoạt động tối đa của thiết bị quy trình là điều rất quan trọng đối với lợi nhuận.

Với hiểu biết hạn chế về hiệu suất của hệ thống chân không và xử lý khí, và tác động của nó đến tính khả dụng của công cụ quy trình, nhà máy này phải vận hành theo phương pháp bảo trì dựa trên thời gian.

Chỉ được xác định bởi tuổi thọ và thời gian vận hành của thiết bị SubFab, bảo trì dựa trên thời gian không thể loại bỏ hoàn toàn nguy cơ hỏng hóc. Phải có sẵn hàng tồn kho lớn các phụ tùng thay thế, gây thêm áp lực cho chuỗi cung ứng. Ngoài ra, các yêu cầu bất ngờ đã được đặt ra cho các nhóm bảo trì để cung cấp hỗ trợ dịch vụ bổ sung.

Bảo trì sửa chữa mất nhiều thời gian hơn

Trong trường hợp hệ thống chân không và xử lý tắt ngoài dự kiến, thời gian vệ sinh, phục hồi, tái sát hạch công cụ quy trình được ước tính là ít nhất 500 giờ mỗi năm. Con số này được tính toán trên 75 công cụ quy trình; mỗi công cụ yêu cầu 6-7 giờ bảo trì bổ sung cho mỗi lần dừng ngoài dự kiến.

Quản lý nguy cơ ngừng hoạt động

Bảo trì theo thời gian là không đủ, nếu Nhà máy muốn đáp ứng các mục tiêu tăng trưởng và hiệu suất. Cần tránh thời gian ngừng hoạt động ngoài dự kiến bằng mọi chi phí, nhưng nếu không có đủ thông tin chi tiết để nhanh chóng xác định nguyên nhân gốc rễ của các vấn đề hệ thống, việc tăng bảo trì định kỳ là lựa chọn duy nhất.

Nhà máy phải đối mặt với thử thách triển khai chuyên môn kỹ thuật phù hợp trong SubFab, và kết quả là sự thất vọng giữa các nhóm phòng sạch và SubFab tăng lên, dẫn đến giao tiếp không nhất quán và thiếu chia sẻ dữ liệu.

6-7 giờ bảo trì bổ sung cho mỗi sự kiện ngừng hoạt động: Bảo trì sửa chữa = 18 giờ so với Bảo trì theo kế hoạch = 11,5 giờ

Để tìm kiếm một phương pháp hiệu quả và chính xác hơn nhằm loại bỏ nguy cơ xảy ra sự cố ngừng hoạt động, cơ sở này đã yêu cầu sự giúp đỡ của chúng tôi.

*Nguồn: BÁO CÁO Trung tâm An ninh và Công nghệ (CSET), 2020