Fabryka półprzewodników odzyskuje ponad 1400 godzin czasu pracy narzędzi procesowych

Wartość pojedynczej płytki półprzewodnikowej o wiodącej krawędzi szacuje się na 17 000 $*. Przestój tylko jednego narzędzia technologicznego może przerwać produkcję i szybko spowodować spadek wydajności płytki, uzysku i czasu cyklu. Maksymalny czas sprawnego działania narzędzi procesowych ma kluczowe znaczenie dla rentowności.

Przy ograniczonym wglądzie w wydajność systemu próżniowego i układu oczyszczania spalin oraz jego wpływ na dostępność narzędzi procesowych zakład musiał pracować zgodnie z podejściem do konserwacji opartym na czasie.

Określane tylko przez wiek i czas pracy sprzętu SubFab, konserwacja oparta na czasie nie mogła całkowicie wyeliminować ryzyka wystąpienia przestoju. Duże zapasy części zamiennych musiały być łatwo dostępne, co dodatkowo obciążało łańcuchy dostaw. Ponadto pojawiły się nieoczekiwane żądania od zespołów konserwacyjnych w celu zapewnienia dodatkowego wsparcia serwisowego.

Konserwacja naprawcza zajmuje więcej czasu

W przypadku nieoczekiwanego wyłączenia systemu próżniowego i układu oczyszczania spalin szacuje się, że czyszczenie, odzyskiwanie i ponowna kwalifikacja narzędzia procesowego zajmie co najmniej 500 godzin w ciągu roku. Wartość ta została obliczona dla 75 narzędzi procesowych, z których każde wymaga 6-7 godzin dodatkowej konserwacji na nieoczekiwane zatrzymanie.

Zarządzanie ryzykiem przestojów

Konserwacja oparta na czasie nie była wystarczająca, jeśli fabryka chciała osiągnąć cele w zakresie wzrostu i wydajności. Niespodziewanych przestojów trzeba było uniknąć za wszelką cenę, ale bez wystarczającej wiedzy, aby szybko zidentyfikować główne przyczyny problemów z systemem, jedyną opcją była zwiększona rutynowa konserwacja.

Fab musiała wdrożyć odpowiednią wiedzę techniczną w SubFab, a w rezultacie narastała frustracja między zespołami Cleanroom i SubFab, co prowadziło do niespójnej komunikacji i braku wymiany danych.

6-7 godzin dodatkowej konserwacji na zdarzenie awarii: konserwacja naprawcza = 18 godzin w porównaniu z konserwacją planową = 11,5 godziny

W poszukiwaniu skuteczniejszej i dokładniejszej metody wyeliminowania ryzyka przestojów zakład zwrócił się do nas o pomoc.

*Źródło: RAPORT Centrum Bezpieczeństwa i Technologii (CSET), 2020