Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography - PDF
Riedenie vodíka Edwards EUV s Richardom Salloumom
EUV litografia pomáha umožniť vysokoobjemovú výrobu vysoko presných integrovaných obvodov. To zvyšuje dopyt po ekologických produktoch a zároveň maximalizuje produktivitu našich zákazníkov.
Na zníženie priamych emisií zákazníka vyvinula spoločnosť Edwards riešenie, ktoré sa odchyľuje od používania zemných plynov v SubFab a mení spôsob riadenia výfukových plynov pre EUV litografiu.
S ohľadom na udržateľnosť vyvinuli inovatívne tímy spoločnosti Edwards alternatívu bez použitia paliva k znižovaniu emisií plynu pre systém riedenia vodíkom alebo H2D.
PREPIS VIDEA
Čo robí produktový manažér?
Ako produktový manažér sa vždy snažíme zachytiť požiadavky zákazníkov a v podstate sa snažíme predpovedať budúce potreby zákazníkov a to, čo chcú.
Hovoríme o tom, ako riedenie nahrádza náš súčasný produkt, ktorý využíva fosílne palivá a obmedzené zdroje, a nahrádza ho produktom na riedenie, ktorý je lepší pre životné prostredie, efektívnejší pre zákazníkov a zlepšuje ich produktivitu.
Aký je aktuálny trhový faktor pre EUV?
Rýchly rast 5G, umelej inteligencie a výroby čipov poháňa potrebu integrovaných obvodov, ktoré majú vyšší výkon a nižšiu spotrebu energie. Výrobcovia čipov naďalej investujú do nových technológií a vyvíjajú nové procesy na poskytovanie riešení, ktoré spĺňajú a podporujú tento rýchly rast digitálnej technológie.
EUV litografia umožňuje výrobcom čipov pokračovať v redukcii vlastností a veľkostí zariadení, čo definuje pokrok v polovodičovom priemysle od jeho prvých dní. Investícia potrebná na použitie EUV vo veľkom objeme znamená, že výrobcovia čipov sú pod obrovským tlakom na maximalizáciu výstupu na dosiahnutie prijateľnej návratnosti.
Celková kapacita nástroja EUV je v podstate pevná, takže výrobcovia čipov sa musia snažiť znížiť prevádzkové náklady, maximalizovať kapacitu a znížiť aj environmentálne náklady. Stručne povedané, existuje potreba ekologických produktov pri súčasnej maximalizácii produktivity.
Aké sú výzvy, ktorým čelia globálni zákazníci EUV?
Naši zákazníci sú pod veľkým tlakom, aby vyrábali integrované obvody, ktoré boli vyrobené udržateľným a ekologickým spôsobom. Zaviazanie sa k udržateľným cieľom, ako je iniciatíva Science-Based Targets a protokol o skleníkových plynoch, znamená, že naši zákazníci hľadajú nové a inovatívne spôsoby, ako znížiť svoju uhlíkovú stopu a stále sa musia zamerať na zlepšenie prevádzkyschopnosti svojich nástrojov E U V a zamerať sa aj na bezpečnosť.
Ako môžeme tieto problémy vyriešiť?
Väčšina našich zákazníkov sa zaviazala znížiť svoj prvý a druhý rozsah Protokolu o skleníkových plynoch, čo znamená, že sa zaviazali znížiť svoj vplyv na životné prostredie a ekvivalent emisií CO2. Riadiaci systém, ktorý tradične používame na systéme EUV Zenith, využíva na spaľovanie vodíka zemný plyn. Vodík je procesný plyn, ktorý umožňuje nástroju EUV pracovať a vytvárať vzory na integrovanom obvode. Naším tradičným spôsobom riadenia týchto výfukových plynov je ich kontrolované spaľovanie, zatiaľ čo produkt na riedenie vodíka je bezpečnejší, má nižšie náklady na vlastníctvo a je šetrnejší k životnému prostrediu, pretože využíva len energiu na pohon mechanizmu ventilátora.
Ako funguje H2D?
H2D je integrovaný s naším systémom EUV Zenith. Vodíkový procesný plyn bezpečne zriedime pomocou ventilátora na nízke percento objemu na objem, ktorý sa potom uvoľní do atmosféry, keď klesne pod bezpečnú úroveň.
Bezpečnosť
Umenie inovácie spočíva v poskytovaní produktu, ktorý bezpečne zaobchádza s výfukovými plynmi vodíka, ale tiež chráni ľudí pracujúcich v SubFab, a samozrejme máme spoločenskú zodpovednosť voči komunitám, ktoré žijú okolo Fabs, takže musíme zabezpečiť, aby boli výfukové plyny zriedené na bezpečnú úroveň.
Ako môže H2D pomôcť našim zákazníkom?
Chápeme, že zákazníci potrebujú zlepšiť udržateľnosť a bezpečnosť, ale tiež musíme zlepšiť produktivitu zákazníkov, aby boli úspešní na svojich trhoch. H2D zlepší výkon a dostupnosť nástroja EUV vo výrobe výrazne menším počtom činností súvisiacich s údržbou v porovnaní s technológiou spaľovania vzduchu, redundantnou prevádzkou, ktorá poskytuje stopercentný čas prevádzkyschopnosti, a bežnou údržbou, ktorú je možné vykonávať počas prietoku vodíka s naším konceptom dvojitého ventilátora. V súčasnosti vyvíjame vyššiu kapacitu H2D na podporu novej generácie nástrojov EUV
Kľúčové poznatky pre H2D sú teda, že znižuje environmentálne náklady, je bezpečný vďaka bezpečnému riedeniu vodíka a tiež zlepšuje produktivitu pre našich zákazníkov.
Ak si chcete prečítať viac o tejto téme, nižšie si môžete stiahnuť dokument Davida Engerrana „Pochopenie integrovaných výziev vákua pri HVM EUV litografii“.
Náš záväzok k životnému prostrediu
