Ekologickejší a spoľahlivejší s nižšími nákladmi na vlastníctvo
Náš inovatívny rad suchých čerpadiel vám prináša najmodernejšiu technológiu navrhnutú na zlepšenie vášho prostredia výroby polovodičov a elektroniky.
Každý rad bol špeciálne navrhnutý tak, aby poskytoval výhody v oblasti environmentálneho výkonu, spoľahlivosti v náročných podmienkach a agilnosti v aplikáciách s nízkym zaťažením.
- Séria iXM – nízka spotreba energie, vysoký výkon
- Séria iXH pre náročné prostredia
- Séria iXL pre ľahké aplikácie
Nízkoenergetické suché čerpadlá radu iXM od spoločnosti Edwards môžu priniesť skutočné zlepšenia procesov s dlhším časom prevádzky, menším vplyvom na životné prostredie a úsporami nákladov pre vaše najkritickejšie aplikácie.
- Energeticky efektívny koreňový mechanizmus môže znížiť vstupný výkon až o 60 %, čím sa znižuje vplyv na životné prostredie a znižujú sa náklady na vlastníctvo
- Technológia plynovej bariéry a vylepšenia tepelného dizajnu umožňujú 4-krát vyššiu odolnosť voči korózii ako naša predchádzajúca séria
- Pokročilé funkcie manipulácie s práškom poskytujú maximálnu spoľahlivosť a predĺženú životnosť čerpadla pre viacvrstvové procesy leptania
- Znížená spotreba energie pre procesy CVD
- Kompaktná a ľahká konštrukcia v kombinácii s výnimočne nízkou hlučnosťou a vibráciami vám poskytuje väčšiu všestrannosť
- Séria iXM je k dispozícii s technológiou XCEDE na zvýšenú odolnosť voči korózii.
Rad suchých čerpadiel iXH stanovuje nové štandardy pre schopnosť pracovať v náročných procesoch, spoľahlivosť a nižšie náklady na vlastníctvo.
- Široký teplotný rozsah vám umožňuje optimalizovať čerpadlo pre minimálnu akumuláciu vedľajších produktov z kondenzácie a pokovovania
- Suché čerpadlá iXH Mk2 poskytujú ešte dlhšiu životnosť v najnáročnejších procesoch a môžu poskytovať výrazné zlepšenie energetickej účinnosti
- Inovatívna technológia tesnenia čerpadla môže predĺžiť životnosť procesu a znížiť riziko úniku
- K dispozícii s technológiou XCEDE na zvýšenú odolnosť voči korózii.
Séria iXL je rad nízkoenergetických kompaktných suchých čerpadiel pre ľahké aplikácie, ako je manipulácia s doštičkami, PVD a metrológia.
- Rýchle odčerpanie komory a extrémne nízka spotreba energie
- Suché čerpadlá iXL600(N) a iXL1000(N) patria medzi najmenšie a najtichšie čerpadlá dostupné pre aplikácie s nízkym zaťažením
- Varianty iXL600M a iXL1000M sú kalené procesom a špeciálne navrhnuté na dielektrické (oxidové) leptanie a iné podobné aplikácie
- Suché čerpadlá iXL600(N) a iXL1000(N) sa vyznačujú vysokou rýchlosťou čerpania a nízkou spotrebou energie
- Čerpadlo iXL900R je najrýchlejšie čerpadlo Loadlock v súčasnosti dostupné vo svojej triede pre aplikácie Loadlock FPD. Zákazníci môžu výrazne znížiť svoje prevádzkové náklady a čas inštalácie s týmto novým čerpadlom, ktoré je obzvlášť vhodné pre najväčšie komory Loadlock používané pri aplikáciách PVD. Okrem toho budú zákazníci potrebovať menej čerpadiel na jednu komoru nakladacej komory, čo zníži čas inštalácie, náklady na systemizáciu, údržbu a spotrebu zdrojov.
- Zelený režim umožňuje menšie využitie elektrických zariadení počas prestojov, znižuje náklady a pomáha zlepšovať váš environmentálny výkon