Apoiar a produtividade dos nossos clientes
Maximizar a disponibilidade da SubFab
No mundo conectado e em rápida evolução de hoje, compreendemos a necessidade de maximizar a produtividade dos nossos clientes. Fazemos isto garantindo que a sua tecnologia é a primeira no mercado, enquanto continuamos a esforçar-nos para reduzir os riscos e os desafios ambientais que o processo de fabrico pode trazer.
As soluções integradas da Edwards avaliam todas as necessidades de gestão de vácuo e escape do cliente, com base na nossa experiência global, com as tecnologias mais avançadas do setor. Os nossos sistemas integrados oferecem as vantagens da repetibilidade de produtos e serviços e da poupança de espaço. Eles trazem maior produtividade, segurança e garantia ambiental. Os nossos sistemas integrados também trazem benefícios diretos de uma instalação e configuração mais rápidas, economias de escala e segurança melhorada.
O EZENITH oferece um portfólio avançado de sistemas que fornecem soluções de gestão de vácuo e escape totalmente integradas para todas as suas aplicações de processos de semicondutores. Os sistemas EZENITH são únicos na oferta de:
- Gestão de vácuo e exaustão centrada no processo
- Integração completa dos componentes
- Suporte de cada função com uma potente interface de controlo integrada
- Concebido para uma utilização eficiente do espaço - para poupanças de até 70%
- Distribuição interna completa, regulação e monitorização de serviços, reduzindo a ligação de serviços públicos em mais de 60%, garantindo ao mesmo tempo um funcionamento suave e fiável
Com apenas uma bomba e um dispositivo de redução de gás, ainda não está pronto para executar o seu processo. Terá de ligar o escape da bomba, ligar os aquecedores de linha onde necessário, executar as linhas de água, purga e elétricas e, em seguida, preparar todos os sinais de controlo. Também terá de considerar o invólucro duplo, a deteção de fugas de gás e como pretende realizar verificações de fugas após a manutenção da sua ferramenta. Todas estas coisas irão custar-lhe tempo e dinheiro na conceção. Compreendemos o problema e, por isso, desenvolvemos soluções integradas e específicas do processo.
Os nossos sistemas integrados já estão pré-projetados para a maioria dos processos de semicondutores. Os aquecedores de exaustão são definidos para a temperatura correta para minimizar os custos e maximizar o tempo de atividade. Colocamos portas de verificação de fugas e válvulas de gaveta onde são necessárias. Todo o sistema está fechado e, mais importante, só precisa de fornecer um dos serviços públicos necessários. Distribuímos os gases, a água, a eletricidade e os sinais de controlo onde são necessários e criamos um sistema pronto a utilizar.