Wspieranie produktywności naszych klientów
Maksymalizacja dostępności SubFab
W dzisiejszym szybko zmieniającym się, połączonym świecie rozumiemy potrzebę maksymalizacji produktywności naszych klientów. Robimy to, zapewniając, że ich technologia jest pierwsza na rynku, jednocześnie nieustannie dążąc do zmniejszenia ryzyka i wyzwań środowiskowych, jakie może przynieść proces produkcji.
Zintegrowane rozwiązania firmy Edwards oceniają wszystkie potrzeby klienta w zakresie zarządzania próżnią i spalinami, opierając się na naszym globalnym doświadczeniu i najbardziej zaawansowanych technologiach w branży. Nasze zintegrowane systemy zapewniają powtarzalność produktów i usług oraz oszczędność miejsca. Zapewniają one większą produktywność, bezpieczeństwo i ochronę środowiska. Nasze zintegrowane systemy przynoszą również bezpośrednie korzyści w postaci szybszej instalacji i konfiguracji, oszczędności skali i większego bezpieczeństwa.
EZENITH oferuje zaawansowaną ofertę systemów zapewniających w pełni zintegrowane rozwiązania w zakresie kontroli próżni i wylotu dla wszystkich zastosowań związanych z przetwarzaniem półprzewodników. Systemy EZENITH oferują wyjątkowe korzyści:
- Zarządzanie próżnią i spalinami zorientowane na proces
- Pełna integracja komponentów
- Wsparcie każdej funkcji dzięki wydajnemu, zintegrowanemu interfejsowi sterowania
- Zaprojektowane z myślą o efektywnym wykorzystaniu przestrzeni - oszczędności do 70%
- Pełna dystrybucja wewnętrzna, regulacja i monitorowanie usług zmniejszające podłączenie do sieci o ponad 60% przy jednoczesnym zapewnieniu płynnej i niezawodnej pracy
Tylko pompa i urządzenie do oczyszczania gazów nie są jeszcze gotowe do uruchomienia procesu. Należy podłączyć wylot pompy, podłączyć nagrzewnice w razie potrzeby, przeprowadzić przewody wodne, oczyszczające i elektryczne, a następnie przygotować wszystkie sygnały sterujące. Należy również wziąć pod uwagę podwójną obudowę, wykrywanie nieszczelności gazu i sposób przeprowadzania kontroli szczelności po konserwacji narzędzia. Wszystkie te rzeczy będą kosztować Cię czas i pieniądze. Rozumiemy problem, dlatego opracowaliśmy zintegrowane rozwiązania dostosowane do konkretnych procesów.
Nasze zintegrowane systemy są już wstępnie zaprojektowane do większości procesów półprzewodnikowych. Nagrzewnice wylotowe są ustawione na właściwą temperaturę, aby zminimalizować koszty i zmaksymalizować czas sprawnego działania. Umieszczamy porty kontroli szczelności i zawory odcinające tam, gdzie są potrzebne. Cały system jest zamknięty, a co najważniejsze, wystarczy dostarczyć tylko jedną z wymaganych mediów. Rozprowadzamy gazy, wodę, energię elektryczną i sygnały sterujące tam, gdzie są potrzebne, tworząc gotowy do użycia system.