Apoyo a la productividad de nuestros clientes
Maximización de la disponibilidad de SubFab
En el mundo conectado de hoy en día, que evoluciona rápidamente, entendemos la necesidad de maximizar la productividad de nuestros clientes. Para ello, nos aseguramos de que su tecnología sea la primera del mercado, mientras seguimos esforzándonos por reducir los riesgos y los desafíos medioambientales que puede suponer el proceso de fabricación.
Las soluciones integradas de Edwards evalúan todas las necesidades de gestión de vacío y escape del cliente, basadas en nuestra experiencia global, con las tecnologías más avanzadas del sector. Nuestros sistemas integrados ofrecen las ventajas de la repetibilidad de los productos y servicios y el ahorro de espacio. Ofrecen una mayor productividad, seguridad y tranquilidad medioambiental. Nuestros sistemas integrados también ofrecen ventajas directas de una instalación y configuración más rápidas, economías de escala y una seguridad mejorada.
El EZENITH ofrece una gama avanzada de sistemas que proporcionan soluciones de gestión de vacío y escape totalmente integradas para todas sus aplicaciones de procesos de semiconductores. Los sistemas EZENITH son únicos en ofrecer:
- Gestión de gases de escape y vacío centrada en el proceso
- Integración completa de los componentes
- Soporte de cada función con una potente interfaz de control integrada
- Diseñado para un uso eficiente del espacio: para un ahorro de hasta el 70 %
- Distribución interna completa, regulación y supervisión de servicios que reducen la conexión de servicios públicos en más de un 60 %, a la vez que garantizan un funcionamiento fluido y fiable
Con solo una bomba y un dispositivo de reducción de gases, aún no está listo para ejecutar su proceso. Tendrá que conectar el escape de la bomba, conectar los calentadores de línea donde sea necesario, poner en marcha las líneas de agua, purga y eléctricas y, a continuación, preparar todas las señales de control. También tendrá que considerar la protección doble, la detección de fugas de gas y cómo desea realizar comprobaciones de fugas después del mantenimiento de su herramienta. Todo esto le costará tiempo y dinero en el diseño. Entendemos el problema, por lo que hemos desarrollado soluciones integradas y específicas para cada proceso.
Nuestros sistemas integrados ya están prediseñados para la mayoría de los procesos de semiconductores. Los calentadores de escape se ajustan a la temperatura correcta para minimizar los costes y maximizar el tiempo de actividad. Colocamos puertos de comprobación de fugas y válvulas de compuerta donde se necesitan. Todo el sistema está cerrado y, lo que es más importante, solo tiene que proporcionar uno de los servicios necesarios. Distribuimos los gases, el agua, la electricidad y las señales de control donde se necesitan y creamos un sistema listo para usar.