Regis(반응성 가스 주입 시스템)는 원격 플라즈마 기술을 사용하여 펌프 수명을 늘리는 화학 반응 시스템입니다.
최신 세대 Regis는 펌프로 들어가기 전에 공정 가스가 효율적으로 반응하도록 보장하는 고유한 반응 챔버 설계를 특징으로 하며, 펌프 수명을 300일 이상으로 연장합니다.
이전 세대의 Regis와 비교할 때, 설치 공간이 26.5% 감소했습니다. 가혹한 듀티 시리즈 건식 진공 펌프와 결합된 새로운 Regis 시스템은 일련의 공정에 대해 최대 펌프 가동 시간과 공정 안정성을 제공합니다.
특징 및 장점:
- 낮은 소유 비용:
Regis는 펌프 수명을 300일 이상으로 연장합니다.
FTIR 연구를 사용하여 NF3 흐름을 최적화함으로써 CoO를 최소화합니다.
새로운 반응 챔버 설계를 통해 반응 효율이 100% 증가했습니다.
- 공구 가동 시간 극대화:
온라인 연속 작동
잦은 펌프 교체로 인한 공구 가동 중지 시간 감소
- 캐비닛 추출 포트가 포함된 완전 밀폐형 시스템
- PLC 제어:
공구 신호 제어 ReGIS 플라즈마 점화 기능
향상된 보안
전체 시스템 모니터링
- 공정 안정성 지원:
성능 손실 없음
전도도 변화 없음
Edwards Regis