Regis (système d'injection de gaz réactif) est un système à réaction chimique qui utilise la technologie plasma à distance pour augmenter la durée de vie de la pompe.
La dernière génération de Regis dispose d'une chambre à réaction unique garantissant que les gaz de procédé réagissent efficacement avant leur entrée dans la pompe, prolongeant ainsi à plus de 300 jours la durée de vie de la pompe.
Par rapport à la génération précédente, l'empreinte a été réduite de 26,5 % avec ce nouveau système Regis. Celui-ci, associé à des pompes à vide sèches de série destinées à une utilisation intensive, offre une disponibilité optimale de la pompe et préserve la stabilité du procédé pour une série de processus.
Caractéristiques et avantages :
- Faibles coûts de possession :
Regis prolonge de 300 jours ou plus la durée de vie de la pompe
Flux NF3 optimisé grâce aux études FTIR pour minimiser les coûts d'exploitation.
L'efficacité de réaction a augmenté de 100 % grâce à la nouvelle conception de la chambre à réaction.
- Optimise le temps de disponibilité de l'outil :
Fonctionnement continu en ligne.
Réduction des temps d'arrêt des outils causés par les fréquents remplacements de pompes.
- Système entièrement fermé avec port d'extraction de l'armoire inclus.
- Contrôle par PLC :
Capacité d'allumage de la commande du signal d'outil ReGIS Plasma.
Sécurité renforcée.
Surveillance complète du système.
- Permet la stabilité du procédé :
Aucune perte de performances.
Aucune modification de la conductance.
Edwards Regis