Edwards CTI-Cryogenics 8200 Compressor Data sheet
Edwardsin CTI-Cryogenics-kompressorivalikoima
Edwards CTI-Cryogenics tarjoaa laajan valikoiman kompressoreita, jotka on suunniteltu toimimaan optimaalisesti sisäisten kryopumppujen, Cryo-Torr-kryopumppujen ja/tai sisäisten vesipumppujen kanssa.
Integroitu kryopumpun tehon taajuusmuuttaja varmistaa kryopumpun maksimaalisen suorituskyvyn sekä 50 että 60 Hz:n sovelluksissa kaikille Edwardsin tyhjiöpumpuille.
8200 Kompressori
Tämä kompressori on suunniteltu tarjoamaan optimaalista suorituskykyä sisäisten kryopumppujen, sisäisten vesipumppujen ja Cryo-Torr-kryopumppujen kanssa, ja se tukee kaikkia enintään kahdeksan tuuman kokoisia pumppuja. Koska 8200 on suunniteltu joustavaksi, voit sijoittaa kompressorin sinne, missä se sopii parhaiten järjestelmän toimintaan.
9600 Kompressori
Tämä kompressori on suunniteltu erityisesti pitkää käyttöikää, suurta luotettavuutta ja helppokäyttöisyyttä varten. Se tarjoaa erinomaista suorituskykyä kaikkien Cryo-Torr-kryopumppujen, sisäisten kryopumppujen, sisäisten vesipumppujen ja sisäisten TurboPlus-tyhjiöpumppujen kanssa. 9600 tukee sekä yksittäisiä että ryhmäpumppukokoonpanoja ja on yhteensopiva CTI-Cryogenicsin pumppuasennusten kanssa kaikkialla maailmassa.
9700A Kompressori
9700A-kompressorin heliumteho on suurempi, joten se sopii ihanteellisesti useiden kryopumppujen käyttöön. Monissa kryopumppu- ja vesipumppusovelluksissa yksi 9700A-kompressori tarjoaa yhden kompressoriratkaisun. 9700A-kompressori on yhteensopiva Cryo-Torr- ja On-Board-kryopumppujen kanssa. Se vähentää virrankulutusta, vedenjakelua ja tilantarvetta verrattuna useisiin kompressorisovelluksiin.
IS-kompressorit
IS-1000-kompressori – älykäs, erittäin tehokas kompressoritekniikka IS-kryopumpuille. IS-1000-kompressori tukee jopa kuutta IS-8F-kryopumppua samalla tilantarpeella kuin 9600-kompressori.
IS-2000V-kompressori – tuottaa alhaisimman tehonkulutuksen kaikissa käyttövaiheissa korkeamman paineen, pyörivän tekniikan ja mukautuvan heliumin annostelun yhdistelmällä, joka on SEMI S-23 -tavoitteiden mukainen. IS-2000V korvaa kaksi IS-1000-kompressoria. Tämä suuren kapasiteetin heliumkompressori on suunniteltu tukemaan sisäisiä IS-kryopumppusovelluksia. Integroitu kryopumpun tehon taajuusmuuttaja varmistaa kryopumpun maksimaalisen suorituskyvyn sekä 50 että 60 Hz:n sovelluksissa.
