Vihreämpi ja luotettavampi, pienemmät käyttökustannukset
Innovatiivinen kuivapumppuvalikoimamme tarjoaa huipputeknologiaa, joka on suunniteltu parantamaan puolijohteiden ja elektroniikan valmistusympäristöä.
Jokainen sarja on suunniteltu erityisesti tarjoamaan etuja ympäristötehokkuudessa, luotettavuudessa vaativissa olosuhteissa ja ketteryydessä kevyissä käyttökohteissa.
- iXM-sarja – alhainen energiankulutus, korkea suorituskyky
- iXH-sarja vaativiin ympäristöihin
- iXL-sarja kevyisiin sovelluksiin
Edwardsin matalaenergiaisen iXM-sarjan kuivapumput voivat tuoda todellisia prosessiparannuksia, jotka lisäävät käyttöaikaa, vähentävät ympäristövaikutuksia ja tuovat kustannushyötyjä kriittisimpiin sovelluksiin.
- Energiatehokas juurimekanismi voi vähentää syöttötehoa jopa 60 %, mikä vähentää ympäristövaikutuksia ja alentaa omistajuuden kustannuksia
- Kaasunsulkuteknologian ja lämpösuunnittelun parannukset mahdollistavat neljä kertaa paremman korroosionkestävyyden kuin aiemmassa sarjassamme
- Edistykselliset jauheenkäsittelyominaisuudet takaavat maksimaalisen luotettavuuden ja pidentävät pumpun käyttöikää monikerroksisissa etsausprosesseissa
- Pienempi virrankulutus CVD-prosesseissa
- Kompakti ja kevyt rakenne sekä poikkeuksellisen alhainen melu- ja tärinätaso lisäävät monipuolisuutta
- iXM-sarja on saatavana XCEDE-tekniikalla, joka parantaa korroosionkestävyyttä.
iXH-kuivapumppumallisto asettaa uudet standardit vaativien prosessien suorituskyvylle, luotettavuudelle ja alhaisemmille käyttökustannuksille.
- Laaja lämpötila-alue mahdollistaa pumpun optimoinnin kondensaation ja pinnoituksen aiheuttaman sivutuotteiden kertymisen minimoimiseksi
- iXH Mk2 -kuivapumput tarjoavat entistä pidemmän käyttöiän vaativimmissakin prosesseissa ja voivat parantaa energiatehokkuutta merkittävästi
- Innovatiivinen pumpun tiivistetekniikka voi pidentää prosessin käyttöikää ja vähentää vuotoriskiä
- Saatavana XCEDE-tekniikalla, joka parantaa korroosionkestävyyttä.
iXL-sarja on pienienergiaisten ja kompaktien kuivapumppujen valikoima kevyisiin käyttökohteisiin, kuten laattojen käsittelyyn, PVD:hen ja metrologiaan.
- Nopea kammion tyhjennys ja erittäin alhainen energiankulutus
- iXL600(N)- ja iXL1000(N)-kuivapumput ovat pienimpiä ja hiljaisimpia kevyisiin käyttökohteisiin saatavilla olevia pumppuja.
- iXL600M- ja iXL1000M-mallit on prosessikarkaistu ja suunniteltu erityisesti dielektriseen (oksidi) etsaukseen ja muihin vastaaviin sovelluksiin
- iXL600(N)- ja iXL1000(N)-kuivapumppujen pumppausnopeus on suuri ja energiankulutus alhainen
- iXL900R on luokkansa nopein kuormauslukkopumppu FPD-kuormauslukkosovelluksiin. Asiakkaat voivat vähentää käyttökustannuksiaan ja asennusaikojaan merkittävästi tällä uudella pumpulla, joka sopii erityisen hyvin suuriin kuormalukkokammioihin, joita käytetään plasmahöyrypäästösovelluksissa (PVD). Lisäksi asiakkaat tarvitsevat vähemmän pumppuja kuormauslukkokammiota kohden, mikä vähentää asennusaikaa, järjestelmäkustannuksia, huoltoa ja laitteiden kulutusta.
- Vihreä tila vähentää sähkönkulutusta seisonta-aikoina, pienentää kustannuksia ja auttaa parantamaan ympäristötehokkuutta