Proteus

Der neue Maßstab bei der Minderung des Treibhausgasausstoßes

Edwards Proteus

Proteus ist eine benutzerfreundliche und kostengünstige Lösung zur Reduzierung der CO2-Bilanz bei der Halbleiterherstellung, die nur wenig Strom braucht.

  • Plasmatechnologie mit niedrigem Verbrauch und hohem Wirkungsgrad
  • Plasma-Leistungsmodulation
  • Niedrige Stickoxid-Emissionen
  • Lange MTBS
  • Betriebszeitschutz mit Proteus Dual

  1. Eine einzigartige, stromsparende Plasmatechnologie, die eine hohe Wirksamkeit bei der Zerstörung und Beseitigung (destruction and removal efficiency, DRE) von PFC-Gasen wie CF4 und anderen Treibhausgasen wie SF6, NF3 und N2O erreicht. Damit ist Proteus eine der kostengünstigsten Lösungen zur Minderung von Treibhausgasen aus Halbleiterherstellungsprozessen.
  2. Die Betriebsleistung von Proteus Plasma ist in Abhängigkeit von der einströmenden Gaslast vollständig einstellbar, so dass der Anwender den Stromverbrauch minimieren und gleichzeitig eine optimale Behandlungseffizienz erreichen kann. Die Kommunikation mit dem Prozesswerkzeug und die automatische Plasmaleistungsmodulation bieten weitere Möglichkeiten, die Betriebskosten zu senken und gleichzeitig die höchste Umweltleistung zu garantieren.
  3. Die Minderung von PFC-Gasen erfordert hohe Temperaturen, die die Bildung von NOx-Gasen fördern. Die Proteus-Plasmatechnologie wurde entwickelt, um die „thermischen NOx“-Emissionen zu minimieren, und sie gilt heute als eines der führenden „Low NOx“ PFC-Behandlungssysteme.
  4. Die Zerstörung von PFC-Molekülen erhöht die Säurebelastung durch die Bildung von toxischen und korrosiven wasserlöslichen Verbindungen tendenziell. Die Plasmabrenner- und Gaswaschstufen wurden bei Proteus speziell dahingehend entwickelt, dass die Bauteilkorrosion minimal gehalten wird. Kombiniert mit ausgezeichnetem Pulverhandling ist Proteus in der Lage, lange MTBS zu erreichen und gleichzeitig eine sichere Arbeitsumgebung in der Fabrikation aufrecht zu erhalten.
  5. Proteus Dual bietet eine voll integrierte „Backup“-Lösung, die Abgasreinigung ohne komplizierte Rohrleitungen und Schnittstellen sicherstellt. Proteus Dual ist eine kostengünstige, einfach zu installierende Lösung. Diese Lösung trägt dazu bei, die Prozessbetriebszeit aufrechtzuerhalten, Platzbedarf und Installationskosten zu reduzieren und gleichzeitig die Sicherheit der Sub-Fab-Ebene zu erhöhen.

    Lassen Sie sich von uns dazu beraten, wie Proteus Ihnen helfen kann, Ihre Umweltziele zu erreichen.