Edwards Proteus
Edwards Proteus membolehkan rawatan yang berkesan bagi PFC dan gas pemanasan global lain tanpa menggunakan gas asli atau hidrokarbon lain.
Proteus adalah penyelesaian yang mesra pengguna, berkesan kos dan menggunakan tenaga rendah untuk mengurangkan jejak karbon dalam pembuatan semikonduktor.
- Teknologi Plasma berkuasa rendah, kecekapan tinggi
- Modulasi Kuasa Plasma
- Emisi NOx rendah
- Long MTBS
- Perlindungan waktu operasi dengan Proteus Dual
- Satu Teknologi Plasma yang unik dan berkuasa rendah yang mencapai kecekapan kadar pemusnahan tinggi (DRE) bagi gas PFC seperti CF4 dan gas pemanasan global lain seperti SF6, NF3 dan N2O. Ini menjadikan Proteus salah satu penyelesaian yang paling kos efektif untuk pengurangan gas pemanasan global daripada proses pembuatan semikonduktor.
- Kuasa operasi Proteus Plasma sepenuhnya boleh disesuaikan berdasarkan beban gas yang masuk, membolehkan pengguna mengurangkan penggunaan tenaga sambil mengekalkan kecekapan rawatan yang optimum. Antara muka dengan alat proses dan Modulasi Kuasa Plasma automatik menawarkan peluang tambahan untuk mengurangkan kos operasi sambil mengekalkan prestasi alam sekitar yang tertinggi.
- Pengurangan gas PFC memerlukan suhu tinggi yang mendorong pembentukan gas NOx. Teknologi Plasma Proteus telah dibangunkan untuk meminimumkan emisi "thermal NOx" dan kini berdiri sebagai salah satu sistem pengurangan PFC "low NOx" yang terkemuka.
- Penghancuran molekul PFC cenderung meningkatkan beban asid melalui penciptaan sebatian larut dalam air yang toksik dan korosif. Pancaran Plasma Proteus dan tahap pencucian basah telah direka khusus untuk meminimumkan kakisan komponen. Digabungkan dengan kemampuan pengendalian serbuk yang cemerlang, Proteus mampu mencapai MTBS yang panjang sambil mengekalkan persekitaran kerja yang selamat di dalam Fab.
- Proteus Dual menawarkan penyelesaian "backup" yang sepenuhnya terintegrasi untuk membantu memastikan ketersediaan pengurangan tanpa perlu untuk paip dan antara muka yang rumit. Proteus Dual adalah penyelesaian yang kos efektif dan mudah dipasang. Ia membantu mengekalkan masa operasi proses, mengurangkan jejak dan kos pemasangan, sambil meningkatkan keselamatan sub-fab.
Bercakaplah dengan kami tentang bagaimana Proteus dapat membantu anda mencapai matlamat alam sekitar anda.
