Edwards Proteus
Edwards Proteus umożliwia skuteczne oczyszczanie PFC i innych gazów powodujących globalne ocieplenie bez użycia gazu ziemnego lub innych węglowodorów.
Proteus to niskoenergetyczne, przyjazne dla użytkownika i ekonomiczne rozwiązanie zmniejszające ślad węglowy produkcji półprzewodników.
- Niska moc, wysoka wydajność Technologia plazmowa
- Modulacja mocy plazmy
- Niska emisja NOx
- Długi MTBS
- Ochrona czasu sprawnego działania dzięki Proteus Dual
- Unikalna, niskoenergetyczna technologia plazmowa, która osiąga wysoką wydajność niszczenia (DRE) gazów PFC, takich jak CF4 i innych gazów o globalnym ociepleniu, takich jak SF6, NF3 i N2O. To sprawia, że Proteus jest jednym z najbardziej ekonomicznych rozwiązań do redukcji emisji gazów o globalnym ociepleniu z procesów produkcji półprzewodników.
- Moc robocza Proteus Plasma jest w pełni regulowana w zależności od doprowadzanego obciążenia gazem, co pozwala użytkownikom zminimalizować zużycie energii przy zachowaniu optymalnej wydajności leczenia. Interfejs z narzędziem procesowym i automatyczna modulacja mocy plazmy oferują dalsze możliwości obniżenia kosztów operacyjnych przy zachowaniu najwyższej wydajności środowiskowej.
- Oczyszczanie gazu PFC wymaga wysokich temperatur, które sprzyjają tworzeniu się gazów NOx. Technologia Proteus Plasma została opracowana w celu zminimalizowania „termicznych emisji NOx” i jest obecnie jednym z wiodących „niskoemisyjnych” systemów oczyszczania PFC.
- Niszczenie cząsteczek PFC ma tendencję do zwiększania obciążenia kwasami poprzez tworzenie toksycznych i żrących związków rozpuszczalnych w wodzie. Palnik plazmowy Proteus i etapy płukania na mokro zostały specjalnie zaprojektowane w celu zminimalizowania korozji elementów. W połączeniu z doskonałą obsługą proszków, Proteus jest w stanie osiągnąć długi czas MTBS przy jednoczesnym utrzymaniu bezpiecznego środowiska pracy w fabryce.
- Proteus Dual oferuje w pełni zintegrowane rozwiązanie „backup”, które pomaga zapewnić dostępność systemu oczyszczania spalin bez konieczności skomplikowanego orurowania i połączeń. Proteus Dual to ekonomiczne i łatwe w instalacji rozwiązanie. Pomaga utrzymać czas sprawnego działania procesu, zmniejszyć zajmowaną powierzchnię i koszty instalacji, jednocześnie zwiększając bezpieczeństwo podfabryki.
Porozmawiaj z nami o tym, w jaki sposób Proteus może pomóc Ci osiągnąć Twoje cele środowiskowe.
