Edwards Proteus
Edwards Proteus cho phép xử lý hiệu quả PFC và các khí nóng lên toàn cầu khác mà không cần sử dụng khí tự nhiên hoặc các hydrocacbon khác.
Proteus là giải pháp tiêu thụ điện năng thấp, thân thiện với người dùng và tiết kiệm chi phí để giảm lượng khí thải carbon của sản xuất chất bán dẫn.
- Công nghệ Plasma công suất thấp, hiệu quả cao
- Điều chế công suất Plasma
- Giảm phát thải NOx
- MTBS dài
- Bảo vệ thời gian hoạt động với Proteus Dual
- Công nghệ Plasma công suất thấp độc đáo giúp đạt được hiệu quả tỷ lệ phá hủy cao (DRE) của khí PFC như CF4 và các khí làm ấm toàn cầu khác như SF6, NF3 và N2O. Điều này làm cho Proteus trở thành một trong những giải pháp tiết kiệm chi phí nhất để giảm khí nóng lên toàn cầu từ các quy trình sản xuất chất bán dẫn.
- Công suất hoạt động của Proteus Plasma có thể được điều chỉnh hoàn toàn theo tải khí vào, cho phép người dùng giảm thiểu tiêu thụ điện năng đồng thời duy trì hiệu quả điều trị tối ưu. Giao diện với công cụ quy trình và điều chế công suất Plasma tự động cung cấp thêm cơ hội để giảm chi phí vận hành đồng thời duy trì hiệu suất môi trường cao nhất.
- Xử lý khí PFC yêu cầu nhiệt độ cao để thúc đẩy sự hình thành khí NOx. Công nghệ Plasma Proteus được phát triển để giảm thiểu phát thải "NOx nhiệt" và hiện là một trong những hệ thống xử lý PFC "NOx thấp" hàng đầu.
- Việc phá hủy các phân tử PFC có xu hướng làm tăng tải axit thông qua việc tạo ra các hợp chất độc hại và ăn mòn hòa tan trong nước. Các giai đoạn chà xát ướt và mỏ đuốc Plasma Proteus đã được thiết kế đặc biệt để giảm thiểu ăn mòn thành phần. Kết hợp với khả năng xử lý bột tuyệt vời, Proteus có thể đạt được MTBS dài đồng thời duy trì môi trường làm việc an toàn trong nhà máy.
- Proteus Dual cung cấp giải pháp "dự phòng" tích hợp đầy đủ để giúp đảm bảo khả năng xử lý khí mà không cần đường ống và giao diện phức tạp. Proteus Dual là giải pháp tiết kiệm chi phí, dễ lắp đặt. Nó giúp duy trì thời gian hoạt động của quy trình, giảm diện tích và chi phí lắp đặt, đồng thời tăng cường độ an toàn của nhà máy phụ.
Hãy trao đổi với chúng tôi về cách Proteus có thể giúp bạn đạt được mục tiêu môi trường của mình.
