愛德華 Proteus
愛德華 Proteus 可以有效地處理 PFC 和其他導致全球變暖的氣體，而無需使用天然氣或其他碳氫化合物。
Proteus 是一種低功耗、容易使用且具有成本效益的解決方案，可減少半導體製造的碳足跡。
- 低功耗、高效電漿技術
- 電漿功率調製
- 氮氧化物排放少
- 長 MTBS
- 藉由 Proteus Dual 保障正常運行時間
- 獨特的低功耗電漿技術可實現 PFC 氣體 (如 CF4) 和其他導致全球暖化氣體 (如 SF6、NF3 和 N2O) 的高破壞率 (DRE)。這讓 Proteus 成為減少半導體製程中導致全球暖化氣體的最具成本效益解決方案之一。
- Proteus Plasma 的運行功率能根據進氣負載進行全方位調節，讓使用者能最大程度地降低功耗及保持最佳處理效率。結合製程工具和自動電漿功率調製，為降低營運成本並同時維持最高環保績效提供了更多機會。
- 需要高溫來減少 PFC 氣體排放，但因此會造成氮氧化物氣體的形成。Proteus 電漿技術的開發旨在將「熱氮氧化物」的排放量降至最低，現已成為領先的「低氮氧化物」PFC 減排系統之一。
- PFC 分子受到破壞時，往往會透過產生有毒和腐蝕性的水溶性化合物來增加酸負荷。Proteus 電漿炬和濕式洗滌階段經過專門設計，可將組件腐蝕減至最低程度。Proteus 結合優異粉末處理能力，能實現較長的 MTBS，同時保持安全的廠房工作環境。
- Proteus Dual 提供完全整合的「備份」解決方案，無需複雜的管道和接合，即可協助確保廢氣處理的執行。Proteus Dual 是一套符合成本效益且易於安裝的解決方案。不僅有助於維持製程的正常運作時間，減少占地面積和安裝成本，同時還能提高半導體無塵室的安全性。
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