Edwards Proteus
Systém Proteus společnosti Edwards umožňuje účinné ošetření perfluorovaných uhlovodíků a dalších plynů způsobujících globální oteplování bez použití zemního plynu nebo jiných uhlovodíků.
Systém Proteus je úsporným, uživatelsky přívětivým a nákladově efektivním řešením pro snížení uhlíkové stopy při výrobě polovodičů.
- Vysoce účinná plazmová technologie s nízkou spotřebou energie
- Plazmová modulace výkonu
- Nízké emise NOx
- Dlouhý stav MTBS
- Ochrana doby provozuschopnosti pomocí systému Proteus Dual
- Jedinečná plazmová technologie s nízkou spotřebou, která dosahuje vysoké účinnosti při ničení plynů perfluorovaných uhlovodíků, jako je CF4 a další plyny způsobující globální oteplování, jako jsou SF6, NF3 a N2O. Díky tomu je systém Proteus jedním z nákladově nejefektivnějších řešení pro snižování emisí plynů způsobujících globálního oteplování z procesů výroby polovodičů.
- Provozní výkon plazmy systému Proteus je plně nastavitelný v závislosti na vstupním množství plynu, což uživatelům umožňuje minimalizovat spotřebu energie a přitom zachovat optimální účinnost ošetření. Propojení s procesním nástrojem a automatickou plazmovou modulací výkonu nabízí další příležitosti ke snížení provozních nákladů při zachování nejvyššího výkonu šetrného k životnímu prostředí.
- Snižování emisí perfluorovaných uhlovodíků vyžaduje vysoké teploty, které podporují tvorbu plynů oxidů dusíku. Plazmová technologie Proteus byla vyvinuta tak, aby minimalizovala emise „termických oxidů dusíku“, a nyní je jedním z předních systémů pro snižování emisí perfluorovaných plynů s nízkou produkcí oxidů dusíku.
- Destrukce molekul perfluorovaných plynů má tendenci zvyšovat zatížení kyselinami vytvářením toxických a žíravých ve vodě rozpustných sloučenin. Plazmový hořák Proteus a stupně mokrého odlučování byly speciálně navrženy tak, aby minimalizovaly korozi součástí. V kombinaci s vynikající schopností manipulace s práškem dokáže systém Proteus dosáhnout dlouhého stavu MTBS při zachování bezpečného pracovního prostředí ve výrobě.
- Systém Proteus Dual nabízí plně integrované „záložní“ řešení, které pomáhá zajistit dostupnost snižování emisí bez nutnosti komplikovaného potrubí a rozhraní. Systém Proteus Dual je cenově výhodné a snadno instalovatelné řešení. Pomáhá udržovat provozuschopnost procesu, snižovat nároky na prostor a náklady na instalaci a zároveň zvyšovat bezpečnost výroby.
Pobavte se s námi o tom, jak vám může systém Proteus pomoci splnit vaše cíle v oblasti životního prostředí.
