Edwards Proteus
Az Edwards Proteus lehetővé teszi a PFC és más globális felmelegedést okozó gázok hatékony kezelését földgáz vagy egyéb szénhidrogének használata nélkül.
A Proteus alacsony energiafogyasztású, felhasználóbarát és költséghatékony megoldás a félvezetőgyártás szénlábnyomának csökkentésére.
- Kis teljesítményű, nagy hatékonyságú plazmatechnológia
- Plazma teljesítmény moduláció
- Alacsony NOx-kibocsátás
- MTBS hosszú
- Üzemidő-védelem a Proteus Dual segítségével
- Egyedülálló, kis energiájú plazmatechnológia, amely nagy pusztítási rátát (DRE) ér el a PFC-gázok, például a CF4 és más globális felmelegedést okozó gázok, például az SF6, az NF3 és az N2O esetében. Ez teszi a Proteus-t az egyik legköltséghatékonyabb megoldássá a félvezetőgyártási folyamatokból származó globális felmelegedési gázok csökkentésére.
- A Proteus Plasma üzemi teljesítménye a bejövő gázterhelésnek megfelelően teljesen állítható, lehetővé téve a felhasználók számára az energiafogyasztás minimalizálását, miközben fenntartják az optimális kezelési hatékonyságot. A technológiai szerszámmal való interfész és az automatikus plazma teljesítmény moduláció további lehetőségeket kínál az üzemeltetési költségek csökkentésére, miközben fenntartja a legmagasabb környezeti teljesítményt.
- A PFC-gázok kezelése magas hőmérsékletet igényel, ami elősegíti az NOx-gázok képződését. A Proteus plazmatechnológiát a „termikus NOx” kibocsátás minimalizálására fejlesztették ki, és ma már az egyik vezető „alacsony NOx” PFC-kezelő rendszernek számít.
- A PFC molekulák lebomlása mérgező és korrozív, vízben oldódó vegyületek képződésével növeli a savterhelést. A Proteus plazmafáklyát és a nedves súrolási fázisokat kifejezetten az alkatrészek korróziójának minimalizálására tervezték. A kiváló porkezelési képességekkel kombinálva a Proteus hosszú MTBS-t tud elérni, miközben fenntartja a biztonságos munkakörnyezetet a gyárban.
- A Proteus Dual teljesen integrált „tartalék” megoldást kínál, amely segít biztosítani a gázkezelés rendelkezésre állását bonyolult csővezetékek és interfészek nélkül. A Proteus Dual költséghatékony, egyszerűen telepíthető megoldás. Segít fenntartani a folyamat rendelkezésre állását, csökkenti a helyigényt és a telepítési költségeket, miközben növeli az algyár biztonságát.
Beszéljen velünk arról, hogyan segíthet Önnek a Proteus a környezetvédelmi céljai elérésében.
