Edwards Proteus
O Edwards Proteus permite o tratamento eficaz de PFC e de outros gases de aquecimento global sem o uso de gás natural ou outros hidrocarbonetos.
O Proteus é uma solução de baixo consumo de energia, fácil de usar e econômica para reduzir a pegada de carbono na fabricação de semicondutores.
- Tecnologia de Plasma de baixa potência e alta eficiência
- Modulação de potência de plasma
- Baixas emissões de NOx
- MTBS longo
- Proteção do tempo de atividade com Proteus Dual
- Uma exclusiva tecnologia de plasma de baixo consumo de energia que atinge alta eficiência na taxa de destruição (DRE) de gases PFC, como CF4 e outros gases de aquecimento global, como SF6, NF3 e N2O. Isso torna o Proteus uma das soluções mais econômicas para a redução de gases de aquecimento global dos processos de fabricação de semicondutores.
- A potência operacional do Proteus Plasma é totalmente ajustável em função da carga de gás de entrada, permitindo que os usuários minimizem o consumo de energia, mantendo a eficiência de tratamento ideal. A interface com a ferramenta de processo e a Modulação automática de potência de plasma oferece mais oportunidades para reduzir os custos de operação, mantendo o mais alto desempenho ambiental.
- A redução do gás PFC requer altas temperaturas que promovem a formação de gases NOx. A tecnologia Proteus Plasma foi desenvolvida para minimizar as emissões de “NOx térmico” e está agora é um dos principais sistemas de redução de PFC de “baixo NOx”.
- A destruição das moléculas de PFC tende a aumentar a carga de ácido através da criação de compostos tóxicos e corrosivos solúveis em água. A tocha de plasma Proteus e os estágios de lavagem úmida foram projetados especificamente para minimizar a corrosão dos componentes. Combinado com uma excelente capacidade de manuseio de pó, o Proteus é capaz de atingir MTBS longo, mantendo um ambiente de trabalho seguro na fábrica.
- O Proteus Dual oferece uma solução de "backup" totalmente integrada para ajudar a garantir a disponibilidade de redução sem a necessidade de tubulação e interfaces complicadas. O Proteus Dual é uma solução econômica e fácil de instalar. Ele ajuda a manter o tempo de atividade do processo, reduzir a área ocupada e os custos de instalação, aumentando a segurança da subfábrica.
Fale conosco sobre como o Proteus pode ajudá-lo a atingir seus objetivos ambientais.
