00,02 | Wir verändern das Paradigma, wie die Subfab funktioniert, ausgestattet und gewartet wird.
Optimierung der Raumeffizienz mit Ganymede: Kleinere Stellfläche, größere Wirkung
Da die Halbleiterindustrie weiter voranschreitet, sind die Kosten für Fab-Flächen explodiert, was die Hersteller dazu veranlasst, die Anzahl der Werkzeuge auf dem verfügbaren Platz zu maximieren. Üblicherweise wird erwartet, dass Subfab-Ausrüstung in die von der obigen Fertigung projizierte Stellfläche des Werkzeugs passt. Dies stellt eine Herausforderung dar, da die physikalische Größe einer Vakuumpumpe direkt mit ihrer Pumpleistung zusammenhängt, was einen Konflikt zwischen dem Wunsch nach kleineren Pumpen und der Notwendigkeit einer höheren Kapazität und Drehzahl schafft.
Um diesen wachsenden Anforderungen gerecht zu werden, wurde Ganymede so konzipiert, dass sie 30 % kleiner ist als ältere Pumpen, und bietet eine bahnbrechende Lösung für Subfab-Manager, die Platz freisetzen möchten, ohne Kompromisse bei der Leistung einzugehen. Durch die Reduzierung der Pumpenfläche ermöglicht Ganymede es Herstellern, wertvolle Fab-Immobilien zu nutzen und mehr Werkzeuge auf demselben Raum zu integrieren.
Die wichtigsten Vorteile der geringeren Stellfläche von Ganymede:
• Erhöhter Durchsatz: Das kompakte Design des Ganymede ermöglicht eine effizientere Raumnutzung, wodurch mehr Werkzeuge in der Fertigungsanlage hinzugefügt werden können, was den Durchsatz und die Produktivität erhöht
• Reduzierte CO2-Emissionen: Die kleinere Größe und die höhere Leistung von Ganymede tragen zu einem geringeren Energieverbrauch bei und helfen Herstellern, ihren CO2-Fußabdruck zu reduzieren und Nachhaltigkeitsziele zu erreichen
• Wartungseffizienz: Trotz seiner geringen Größe ist Ganymede auf Servicefreundlichkeit ausgelegt und stellt sicher, dass Wartungsarbeiten schnell und sicher durchgeführt werden können, ohne die Komplikationen, die oft mit gestapelten oder kompakten Systemen verbunden sind.
Platzsparend
Um mit der Reduzierung der Werkzeuggröße Schritt zu halten, muss die Stellfläche der Vakuumpumpen um 20 bis 30 % reduziert werden. Ganymede stellt sich dieser Herausforderung und bietet eine Lösung, die nicht nur Platz spart, sondern auch die erforderliche Saugleistung und Drehzahl liefert, um eine Spitzenleistung aufrechtzuerhalten.
Für Subfab-Manager, die sowohl die Leistung als auch die Raumnutzung optimieren möchten, bietet Ganymede eine Lösung der nächsten Generation, die sich an die Anforderungen der heutigen Halbleiterproduktion anpasst.
Entdecken Sie die platzsparenden Vorteile von Ganymede und wie es Ihnen helfen kann, den Durchsatz zu steigern und die CO2-Emissionen zu reduzieren.
Erfahren Sie mehr über das Projekt ganymede
