空間效能

隨著半導體產業的持續進步，晶圓廠空間的成本急遽升高，促使製造商在可用空間內，將工具的數量最大化。傳統上，subfab 設備必須符合上方晶圓廠規劃的工具占用空間。這是一項挑戰，因為真空泵浦的實際尺寸與其抽氣能力直接相關，這讓追求更小泵浦求，以及對泵浦產生更高流量和速度的需求之間產生衝突。

為了滿足這些不斷增加的需求，Ganymede 的設計比傳統泵浦小 30%，為追求在不影響效能的前提下釋出空間的 subfab 管理者，提供了突破性的解決方案。Ganymede 縮小了泵浦的占地面積，讓製造商可以充分利用寶貴的晶圓廠空間，在相同的空間內整合更多工具。

Ganymede 占地面積較小的主要優點：

• 提高產量：Ganymede 具有精巧的設計，可以提升空間的使用效率，使晶圓廠能增加更多工具，從而提高產量和生產力

• 減少 CO2 排放：Ganymede 具有尺寸較小且效能較高的特性，有助於降低能源消耗，可協助製造商減少碳足跡並達成永續發展的目標

• 維護效率：儘管尺寸較小，Ganymede 具有易於維修的設計，可確保快速安全地完成維護工作，不會出現堆疊式或密集型系統常見的複雜問題。

節省空間的優勢

為了跟上設備尺寸縮小的步伐，真空泵浦的占地面積必須減少 20%-30%。Ganymede 正面迎向此一挑戰，所提供的解決方案不僅節省空間，還能提供維持頂級效能所需的抽氣能力和速度。

對於尋求效能與空間最佳化的 subfab 管理者而言，Ganymede 提供符合現今半導體製造環境需求的新一代解決方案。

探索 Ganymede 節省空間的優點，以及它如何協助您提高產能並減少 CO2 排放。