00,02 | Zmenili sme paradigmu fungovania, vybavenia a servisu subfab.
Optimalizácia priestorovej účinnosti s Ganymede: menšia plocha, väčší vplyv
Keďže polovodičový priemysel pokračuje v rozvoji, náklady na priestor vo výrobe stúpli, čo prinútilo výrobcov maximalizovať počet nástrojov v dostupnom priestore. Tradične sa očakáva, že vybavenie subfab sa zmestí do rozmerov nástroja prenesených z vyššie uvedenej továrne. To predstavuje výzvu, pretože fyzická veľkosť vákuového čerpadla priamo súvisí s jeho čerpacou kapacitou, čo vytvára konflikt medzi túžbou po menších čerpadlách a potrebou vyššej kapacity a rýchlosti.
Na splnenie týchto rastúcich požiadaviek bol systém Ganymede navrhnutý tak, aby bol o 30 % menší ako staršie čerpadlá, čím ponúka prelomové riešenie pre manažérov subfab, ktorí chcú uvoľniť priestor bez zníženia výkonu. Zmenšením pôdorysu čerpadla umožňuje Ganymede výrobcom využiť cenné nehnuteľnosti spoločnosti Fab, čo umožňuje integráciu väčšieho počtu nástrojov v rovnakom priestore.
Kľúčové výhody menšieho pôdorysu Ganymede:
• Zvýšená kapacita: kompaktný dizajn zariadenia Ganymede umožňuje efektívnejšie využitie priestoru, čo umožňuje pridanie ďalších nástrojov do výrobnej linky, čo zvyšuje kapacitu a produktivitu
• Znížené emisie CO2: menšia veľkosť a vyšší výkon zariadenia Ganymede prispievajú k nižšej spotrebe energie, čím pomáhajú výrobcom znižovať svoju uhlíkovú stopu a dosahovať ciele udržateľnosti
• Efektívnosť údržby: Napriek svojej menšej veľkosti je zariadenie Ganymede navrhnuté na jednoduchý servis, čo zaisťuje, že údržbové úlohy možno vykonávať rýchlo a bezpečne bez komplikácií často spojených so stohovanými alebo zhutnenými systémami.
Úspora miesta
Ak chcete udržať krok so zmenšovaním veľkosti nástrojov, pôdorysná plocha vákuových čerpadiel sa musí zmenšiť o 20 % - 30 %. Ganymede čelí tejto výzve čelom k čelu a poskytuje riešenie, ktoré nielen šetrí priestor, ale tiež poskytuje čerpaciu kapacitu a rýchlosť potrebnú na udržanie špičkového výkonu.
Pre manažérov subfab, ktorí sa snažia optimalizovať výkon aj využitie priestoru, ponúka Ganymede riešenie novej generácie, ktoré je v súlade s požiadavkami dnešného prostredia výroby polovodičov.
Objavte priestorovo úsporné výhody systému Ganymede a ako vám môže pomôcť zvýšiť kapacitu a znížiť emisie CO2.
Zistite viac o projekte ganymede
