SPACE PERFORMANCE<br>

半導体産業が進歩し続けるにつれ、ファブスペースのコストは急騰しており、メーカーは、利用可能なスペースでツール数を最大化しようとしています。従来、サブファブの機器は、上記のファブから予測されるツールの設置面積内に収まることが求められていました。真空ポンプの物理的なサイズがポンプ容量に直接関連しているため、ポンプの小型化の要求と、より高い容量と速度の必要性との間に矛盾が生じ、これが課題となっています。

このような需要の高まりに応えるため、Ganymedeは、従来のポンプよりも30%小型化され、性能を損なうことなくスペースを確保したいと考えるサブファブマネジャーに画期的なソリューションを提供しています。Ganymedeは、ポンプの設置面積を縮小することで、メーカーが貴重なファブの不動産を活用できるようにし、同じスペース内でより多くのツールを統合できるようにします。

Ganymede のコンパクト設計による主なメリット：

•スループットの向上：Ganymedeのコンパクトな設計により、スペースをより効率的に活用でき、ファブ内により多くの装置を追加可能。これが生産性とスループットの向上につながります。

•CO2排出量の削減：Ganymedeの小型化と高性能化により、エネルギー消費の低減。メーカーが二酸化炭素排出量を削減し、サステナビリティ目標を達成することを支援します

•メンテナンス効率の向上：小型化してもGanymedeはサービス性を重視した設計。スタック型やコンパクト型のシステムによくある複雑さを回避し、迅速かつ安全なメンテナンスを実現します。

省スペースのメリット

装置サイズの縮小に対応するため、真空ポンプの設置面積は20%～30%の削減が求められています。Ganymedeはこの課題に正面から取り組み、スペース効率の両立は重要な課題です。Ganymedeは、今日の半導体製造環境の要求に応える次世代ソリューションです。

性能とスペースの使用の両方を最適化したいと考えるサブファブマネジャーのために、Ganymedeは、今日の半導体製造環境の要求に適合する次世代ソリューションを提供しています。

Ganymedeの省スペース効果を発見し、スループット向上とCO2排出削減を実現しましょう。