EXS 乾式螺旋真空泵浦
加強粗抽速度及極限真空效能,適合嚴苛的工業環境應用
EXS 乾式螺旋真空泵浦
EXS 採用我們在 GXS 泵浦所用的相同技術,並經精心設計,成就簡單耐用且足以彰顯我們市場領先技術優勢的套件。EXS 效能更強、操作概念簡單,維護成本也低,將可提供續航多年的可靠效能。我們的 EXS 系列乾式螺旋真空泵浦有 EXS160~750 和助抽泵浦組合可供選擇。
堅固耐用的設計特點
可靠的新型儲氣系統,搭配手動氣鎮流閥控制,並具備俐落的板金保護殼。
簡單的電氣策略
內建現有的反相器,可輕鬆連接與通訊。配置防護感測器,電氣設計兼顧可靠性和安全性。
低電力和公用設施消耗
EXS 具備低電力和公用設施消耗,碳排放量低。由於不會產生受汙染或骯髒的廢棄油,對環境也相當有益。
加強粗抽速度及低極限效能
強化加工速度並縮短泵浦停機時間,成就更高的生產力;乾式螺旋真空泵浦的低極限真空壓力達 <1 x 10-2,泵浦搭配助抽泵之組合的低極限真空壓力則達 <1 x 10-3。
非接觸式長效密封
非接觸式長效密封搭配內置油阻式迷宮密封,提供絕佳密封效果。
先進核心技術
具備高品質的軸承及低蒸氣壓的特殊用機油,享有高應用相容性。
詳細的資料數據和輕鬆的控制方式
包括 I/O、現場匯流排通訊、物聯網在內的各種連線解決方案,讓使用者可以即時取得關於泵浦的詳細見解並立即使用泵浦。
- 應用
- 技術規格
- 下載
EXS 泵浦適合各種產業的應用,包括:
鋰離子電池
- 電極乾燥
- 電解液填充
- 形成
冶煉
- 真空硬焊
- 電子束焊接
- 軟氮化
- 低壓滲氮
- 低壓滲碳
- 碳蒸氣浸漬
- 燒結
- 金屬射出成形
- 精密包模鑄造
- 真空電弧精煉
- 鋼材除氣
電漿製程
- 電漿焊接
- 電漿滲氮
真空腔體排氣
- 太空模擬室
- 氣體回收/循環
- 負載腔體室
太陽能
- 矽拉晶
- PV 層壓
塗層 (鍍膜)
- 捲動式鍍膜
- 硬質塗層 (CVD/DLC)
- 表面活化
- 電漿噴塗
- 玻璃鍍膜
規格 | 單位 | EXS160 | EXS160/1750 | EXS250 | EXS250/2600 | |
一般 | 極限真空 | mbar (Torr) | 1x10-2 (8x10-3) | <1x10-3 (<8x10-4) | 1x10-2 (8x10-3) | <1x10-3 (<8x10-4) |
最大抽氣速度 | m3/小時 (cfm) | 160 (94) | 1200 (706) | 250 (147) | 1900 (1118) | |
最大轉子速度 | 轉數/分鐘 | 6600 | DP:6600 MB:6120 |
6600 | DP:6600 MB:6120 |
|
入口/出口 | ISO63/NW40 | ISO100/NW40 | ISO63/NW40 | ISO160/NW40 | ||
電氣 | 電力供應 | V | 380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
極限功率 | kW (hp) | 3.8 (5.1) | 5.1 (6.8) | 4.0 (5.4) | 5.3 (7.1) | |
全負載功率 | kW (hp) | 5.0 (6.7) | 7.4 (9.9) | 9.0 (12.1) | 9.7 (13.0) | |
冷卻 | 連接 | 英寸 | ⅜" BSP 公頭 | |||
冷卻流量 (恆開) | l/分鐘 (gal/min) |
4.0 (1.1) | 7.0 (1.9) | 4.0 (1.1) | 7.0 (1.9) | |
最小差壓 | bar | 1 | ||||
最大供應壓力 | barg (psig) | 6.9 (100) | ||||
溫度 | °C (°F) | 5-40 (41-104) | ||||
吹掃 | 連接 | 英寸 | ½" BSP 公頭 | |||
壓力 | barg (psig) | 2.5-6.9 (36-100) | ||||
軸封流量 (恆開) | l/分鐘 (gal/min) |
12 (3.17) | ||||
氣鎮閥流量 (手動調整) | l/分鐘 (gal/min) |
0-50 (0-13.2) | ||||
操作 | 環境溫度範圍 | °C (°F) | 5-40 (41-104) | |||
搭配消音器的噪音等級 | 分貝 (A) | <64 | ||||
最大排氣背壓 | bara (psig) | 1.2 (17.4) | ||||
潤滑 | 機油 | PFPE Drynert 25/6 | ||||
油量 | l (gal) | 0.7 (0.2) | 1.4 (0.4) | 0.7 (0.2) | 1.4 (0.4) |
規格 | 單位 | EXS450 | EXS450/2600 | EXS450/4200 | EXS750 | EXS750/2600 | EXS750/4200 | |
一般 | 極限真空 | mbar (Torr) | 1x10-2 (8x10-3) | <1x10-3 (<8x10-4) | <1x10-3 (<8x10-4) | 1x10-2 (8x10-3) | <1x10-3 (<8x10-4) | <1x10-3 (<8x10-4) |
最大抽氣速度 | m3/小時 (cfm) | 450 (265) | 2200 (1295) | 3026 (1781) | 740 (435) | 2300 (1354) | 3450 (2032) | |
最大轉子速度 | 轉數/分鐘 | 6600 | DP:6600 MB:6120 |
DP:6600 MB:6120 |
6600 | DP:6600 MB:6120 |
DP:6600 MB:6120 |
|
入口/出口 | ISO100/NW50 | ISO160/ISO63 | ISO160/ISO63 | ISO100/NW50 | ISO160/ISO63 | ISO160/ISO63 | ||
電氣 | 電力供應 | V | 380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
380 - 460 3Ph 50/60Hz | 380 - 460 3Ph 50/60Hz | 380 - 460 3Ph 50/60Hz |
極限功率 | kW (hp) | 7.2 (9.6) | 8.8 (11.8) | 9.4 (12.6) | 10.5 (14) | 11.1 (14.9) | 12 (16) | |
全負載功率 | kW (hp) | 17.3 (23.2) | 16 (21.5) | 18.5 (24.8) | 22 (30) | 24 (32.2) | 24 (32.2) | |
冷卻 | 連接 | 英寸 | ⅜" BSP 公頭 | |||||
冷卻流量 (恆開) | l/分鐘 (gal/min) |
10 (2.6) | 12 (3.2) | 12 (3.2) | 12 (3.2) | 15 (4) | 15 (4) | |
最小差壓 | bar | 1 | ||||||
最大供應壓力 | barg (psig) | 6.9 (100) | ||||||
溫度 | °C (°F) | 5-40 (41-104) | ||||||
吹掃 | 連接 | 英寸 | ½" BSP 公頭 | |||||
壓力 | barg (psig) | 2.5-6.9 (36-100) | ||||||
軸封流量 (恆開) | l/分鐘 (gal/min) |
12 (3.17) | ||||||
氣鎮閥流量 (手動調整) | l/分鐘 (gal/min) |
0-130 (0-34.3) | ||||||
操作 | 環境溫度範圍 | °C (°F) | 5-40 (41-104) | |||||
搭配消音器的噪音等級 | 分貝 (A) | <64 | <70 | |||||
最大排氣背壓 | bara (psig) | 1.2 (17.4) | ||||||
潤滑 | 機油 | PFPE Drynert 25/6 | ||||||
油量 | l (gal) | 1.8 (0.5) | 2.5 (0.7) | 3.6 (1.0) | 2.4 (0.6) | 3.1 (0.8) | 4.2 (1.1) |