腔體解決方案
低振動，零維護
如果您需要穩定、可靠的效能，並且免維護，我們的 STP 磁浮式渦輪分子泵浦系列是符合您需求的最佳指標。轉子以磁性軸承完全懸浮，非常適合需要高運轉時間、無碳氫化合物的抽氣、最低程度維護及低振動的應用。
高級高流速系列
高級系列可提供高流速，非常適合您的半導體蝕刻和 CVD 製程：
- 占地面積小
- 300 l/s 到 4,500 l/s 的流速
- 流速高達 6 slm，並提高了 H2、N2 和 Ar 效能
- 完全整合型控制器和電源
- 超高真空
- 超高真空低振動系列
完全整合型控制器和電源
這種多合一的渦輪泵浦解決方案免除了傳統所需的連接電纜和機架：
- 減少占地面積，節省寶貴的製造廠不動產、安裝時間和成本
- 機載電源可在高氣流條件下將能源消耗降低多達 32％
- 以 300 l/s 到 4,500 l/s 的流速運轉
超高真空
超高真空系列具有無與倫比的可靠姓、效能、清潔度和一流的低振動水準：
- 直流電源消除了對電池的需求
- 半機架控制器具有自動調諧功能和高級診斷功能
- 速度為 300 l/s 到 1,000 l/s，極限壓力 <10-10 mbar (CF 法蘭)
- 另有提供適用於苛刻製程的「C」版
超高真空低振動系列
超高真空低振動版本結合了超高真空系列的所有功能，並採用內建的振動隔離器，可為您帶來超低振動效能。
這種多合一的渦輪泵浦解決方案免除了傳統所需的連接電纜和機架：
- 減少占地面積，節省寶貴的製造廠不動產、安裝時間和成本
- 機載電源可在高氣流條件下將能源消耗降低多達 32％
- 以 300 l/s 到 4,500 l/s 的流速運轉
超高真空系列具有無與倫比的可靠姓、效能、清潔度和一流的低振動水準：
- 直流電源消除了對電池的需求
- 半機架控制器具有自動調諧功能和高級診斷功能
- 速度為 300 l/s 到 1,000 l/s，極限壓力 <10-10 mbar (CF 法蘭)
- 另有提供適用於苛刻製程的「C」版
超高真空低振動版本結合了超高真空系列的所有功能，並採用內建的振動隔離器，可為您帶來超低振動效能。
- Edwards STP iXA4506 Large Capacity Turbopump Datasheet 245.8 kB, PDF
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