Nhà máy đúc tránh mất mẻ wafer bằng cách loại bỏ rủi ro trong SubFab

Sự không chắc chắn trong SubFab tạo ra rủi ro cho sản lượng wafer và tính khả dụng của công cụ.

Giai đoạn phát triển tiếp theo của nhà máy đúc đã đặt đội ngũ Fab tìm kiếm các kênh đổi mới. Tất cả các khu vực của chuỗi sản xuất cần phải tăng đóng góp của họ vào năng suất của nhà máy. Hệ thống chân không và xử lý của họ đã phát triển qua nhiều năm, che giấu các biến tiềm ẩn ảnh hưởng đến hiệu suất tiềm năng của nhà máy rộng lớn hơn. Sự cố hệ thống chân không ngoài kế hoạch trong quá trình xử lý wafer là mối quan ngại cấp thiết. Quy trình sản xuất chất bán dẫn tiến bộ cũng đặt ra nhu cầu ngày càng cao đối với thiết bị chân không và xử lý khí.

Thời gian chết

Bơm "vỡ" trong quá trình xử lý theo mẻ gây ra phế liệu của toàn bộ mẻ sản xuất - lên đến 125 wafer - có thể gây tổn thất lớn về sản phẩm và thời gian ngừng hoạt động của quy trình. Ngay cả trong các quy trình wafer đơn, lỗi bơm chân không ngoài kế hoạch có thể gây ra tổn thất đáng kể vì các công cụ quy trình cần nhiều giờ hoặc thậm chí nhiều ngày để tái kiểm tra.

Các vấn đề chính

Các quy trình sản xuất mới đặt ra nhu cầu ngày càng tăng đối với thiết bị
Giải pháp ngắn hạn để tăng bảo trì
Mất hơn $836k giá trị hàng năm do các sự kiện SubFab ngoài kế hoạch trên lò nung theo lô

Hệ thống giám sát SubFab của nhà máy đúc không thể cung cấp thông tin chi tiết về sự xuất hiện của lỗi thiết bị chân không. Một chế độ bảo trì theo thời gian đã được áp dụng cho các bơm chân không hỗ trợ các công cụ quy trình quan trọng. Điều này làm gián đoạn lịch trình sản xuất có giá trị, nơi các công cụ quy trình đắt tiền thường bị ngừng hoạt động quá sớm hoặc chỉ để phòng ngừa. Ngay cả khi giảm khoảng thời gian bảo trì, vẫn xảy ra lỗi bơm, góp phần gây ra thời gian ngừng hoạt động của dụng cụ và mất wafer. Cần một giải pháp, nhà máy đúc đã liên hệ với chúng tôi để xem xét trước một ứng dụng lò nung hàng loạt gây ra rủi ro giá trị cao từ một số lượng nhỏ các sự kiện ngoài kế hoạch