鋳造工場では、サブファブにおけるリスクを排除することで、バッチウエハーの損失を回避します

サブファブにおける不確実性は、ウエハーの生産量とツールの可用性にリスクをもたらします。

鋳造工場の次の成長段階では、ファブチームは、イノベーションのための新たなチャネルを模索することになりました。製造チェーンのすべての領域で、ファブの歩留まりへの貢献を高める必要がありました。真空・除害システムは、長年にわたって進化していますが、ファブ全体の潜在的な性能に影響を与える隠れた変数がありました。ウエハー処理中の想定外の真空システムの故障は、差し迫った懸念事項でした。また、半導体製造プロセスの進歩により、真空・除害装置に対する需要も高まっていました。

ファブの休止時間

バッチプロセス中にポンプが「クラッシュ」し、生産バッチ全体（最大125枚のウエハー）の廃棄が発生すると、製品とプロセスの休止時間が大きな損失となる可能性があります。1つのウエハープロセスでも、プロセスツールの再認証に数時間または数日かかるため、想定外の真空ポンプの故障によって大きな損失が発生する可能性があります。

主な問題

機器への需要が高まる新しい製造プロセス
メンテナンス増加の短期的な修正
バッチ炉での想定外のサブファブイベントによる年間価値$836k以上の損失

鋳造工場のサブファブ監視システムは、真空装置の故障の発生に関する洞察を得ることができませんでした。重要なプロセスツールをサポートする真空ポンプには、時間ベースのメンテナンス体制が整っていました。このため、貴重な生産スケジュールが中断され、高価なプロセスツールが早期または単なる予防措置として停止することがよくありました。メンテナンス間隔が短くても、ポンプの故障が依然として発生し、ツールの休止時間とウエハーの損失につながっていました。解決策を必要としていた鋳造工場は、まず少数の想定外イベントによる高い価値のリスクをもたらしているバッチ炉での用途を検討するよう、当社に依頼しました。