ZVÝŠENIE PRODUKTIVITY PRI SÚČASNOM ZNÍŽENÍ NÁKLADOV A VPLYVU NA ŽIVOTNÉ PROSTREDIE
V rámci nášho procesu neustáleho zlepšovania navrhujeme modernizácie, ktoré našim zákazníkom pomôžu zlepšiť výkonnosť ich strojov, znížiť náklady na vlastníctvo a dosiahnuť ich ciele v oblasti udržateľnosti.
- Ochrana výkonnosti zariadenia
- Nižšie celkové náklady na vlastníctvo
- Environmentálne inovácie
OCHRANA VÝKONNOSTI ZARIADENIA
Inovácie navrhnuté na zlepšenie výkonu vášho stroja a zvýšenie produktivity vašej prevádzky
Modernizácia redukcie častíc na nástroji pre turbočerpadlá Maglev
V rámci našej nepretržitej misie zlepšovania produktivity a výnosov našich zákazníkov sme vyvinuli sériu riešení, ktoré našim zákazníkom umožňujú znížiť kontamináciu častíc na doštičke v polovodičových aplikáciách použitím troch technológií na nástroji, našej technológie Anti-Recoil, krytu rotorovej misky a použitia vysokoteplotných čerpadiel.
Technológia proti spätnému nárazu
Počas výroby sa môžu častice spätne pohybovať z turbočerpadla do komory, čo môže potenciálne kontaminovať doštičky a znížiť produktivitu. Naša technológia Anti-Recoil výrazne znižuje kontamináciu časticami tým, že im umožňuje ľahko prechádzať cez turbočerpadlo do výfuku.
Kryt rotora
Aby sme zabránili hromadeniu korózie a častíc na miske rotora (na vstupe turbočerpadla), vyvinuli sme kryt misky rotora odolný voči korózii, ktorý zabraňuje tvorbe usadenín a korózii komponentov z nehrdzavejúcej ocele.
Vysokoteplotné čerpadlá
Ďalším zdrojom kontaminácie časticami sú usadeniny vo vnútri turbočerpadla, ktoré môžu tiež umožniť, aby častice prechádzali späť cez turbočerpadlo a do komory. Použitím vysokoteplotných čerpadiel sa dráha plynu zahrieva na extrémne vysoké teploty, čo znižuje tvorbu usadenín. Tieto čerpadlá majú špeciálnu vrstvu s vysokou tepelnou emisiou na kľúčových komponentoch podtlaku, ako sú rotor a stator, a ich teplotný profil sa neustále optimalizuje na dosiahnutie najlepších výsledkov.
Všetky tri technológie na redukciu častíc je možné nainštalovať počas pravidelného servisu čerpadla v našom servisnom technologickom centre, aby sa zabezpečilo, že zákazníci môžu optimalizovať produktivitu nových zariadení a ich existujúcej inštalovanej základne.
Zvýšte výnosy z polovodičov pomocou modernizácie čerpadiel EUV
V konkurenčnom odvetví výroby polovodičov je kľúčové maximalizovať produktivitu pri súčasnom riadení nákladov na energiu vo výrobných zariadeniach. Naše modernizácie suchých čerpadiel EUV sú navrhnuté tak, aby výrazne zlepšili výkonnosť vášho zariadenia a zaistili optimálne zlepšenie výnosu polovodičov. Integráciou pokročilých služieb pre polovodičové zariadenia naše modernizácie nielen zvyšujú výnos pri výrobe polovodičov, ale tiež prispievajú k výrazným úsporám energie. Tento holistický prístup k zlepšeniu výnosov v procesoch výroby polovodičov zaisťuje, že vaše výrobné zariadenia pracujú s maximálnou efektivitou.
Ochrana suchého čerpadla XCEDE pre náročné výrobné procesy
Technológia ochrany suchého čerpadla XCEDE zabraňuje korózii kritických komponentov čerpadla a predlžuje čas medzi servisnými intervalmi, čím maximalizuje čas prevádzky zákazníka. Táto technológia prekonáva všetky konkurenčné metódy použitím komplexnej kombinácie povrchovej úpravy a presného inžinierstva na zníženie chemického a mechanického opotrebovania v rámci mechanizmu čerpadla pre rady čerpadiel Edwards iH, iXH a iXM.
NIŽŠIE CELKOVÉ NÁKLADY NA VLASTNÍCTVO
Modernizácie navrhnuté na predĺženie intervalov medzi servismi a zvýšenie efektívnosti vášho strojového parku pre nižšie celkové náklady na vlastníctvo.
Úprava poréznej hlavy
Spoločnosť Edwards vyvinula poréznu hlavu, modernizáciu v teréne, ktorá využíva spekaný, porézny kovový blok, ktorý rovnomerne rozdeľuje preplachovací vzduch po povrchu, aby sa znížilo riziko hromadenia prášku. Nahrádza tradičnú keramickú izolačnú hlavicu.
Počas procesu čistenia sa môžu pevné látky, zvyčajne prášky, hromadiť v nežiaducich oblastiach systému, ako je spodná strana vstupnej hlavy. Toto hromadenie prášku vedie k upchatiu, ktoré bráni prietoku procesných plynov, čo spôsobuje časté plánované servisné zásahy. V roku náročných procesov môže toto hromadenie prášku spôsobiť viac ako deväť prerušení servisu, čo vedie k zvýšeným nákladom na vlastníctvo v dôsledku práce a používania náhradných dielov.
Zákazníci, ktorí využívajú modernizáciu poréznej hlavy, prešli z desiatich servisných intervalov za rok v priemere len na dva. Tým sa odstránilo v priemere 64 hodín prestojov nástrojov ročne pre zákazníkov bez záložného systému na zníženie emisií, čo viedlo k dodatočnému výkonu vo výške 1,5 milióna $.
Zákazníci so záložným systémom na zníženie emisií vidia výrazné úspory náhradných dielov, práce pri údržbe a zvýšenú energetickú účinnosť znížením ich závislosti od záložného systému.
Liner Pro: Dovybavenie horáka novej generácie
Polovodičové závody sú pod neustálym tlakom na zníženie rizika neočakávaných prestojov, kontrolu nákladov na údržbu a zlepšenie prevádzkovej efektivity. Liner Pro je robustná vložka na znečistenie, ktorá je navrhnutá tak, aby riešila opakujúce sa výzvy údržby vložky horáka v systémoch na znečistenie. Teraz je tiež opakovane použiteľným komponentom na podporu vášho úsilia o udržateľnosť. Integráciou Liner Pro do servisného plánu môžete zjednodušiť prevádzku, znížiť celkové náklady na vlastníctvo a udržať vysoký výkon v náročných procesoch.
Zákaznícky servis
Vozové parky so strojmi, ktoré sa používajú viac ako päť rokov, sú vystavené riziku neočakávaných porúch v kritickej elektronike bez ohľadu na ich mechanický výkon, ktorý sa zachováva hlavne prostredníctvom účinných režimov údržby.
Riešenie spoločnosti Edwards Life Services je skvelou možnosťou na obnovu strojov a predĺženie životnosti vášho strojového parku. Služby Life Services sa vzťahujú na všetky hlavné elektronické súčasti systému s predĺženými zárukami, vďaka ktorým bude vaše zariadenie fungovať dlhé roky.
Life Services je k dispozícii prostredníctvom našej globálnej siete servisných technologických centier.
ENVIRONMENTÁLNE INOVÁCIE
Modernizácie navrhnuté na predĺženie životnosti vášho strojového parku a jeho vplyvu na životné prostredie, ktoré vám pomôžu dosiahnuť vaše ciele v oblasti udržateľnosti.
Zníženie nákladov na energiu vo výrobe s našimi energeticky úspornými modernizáciami
Táto modernizácia suchého čerpadla Edwards iXH1210 je jednoduchá výmena bez dodatočnej práce pre tímy na mieste a bez straty prestojov počas procesu modernizácie.
Poskytuje takmer tretinu vašich prevádzkových nákladov na energiu a pomáha zmierniť váš vplyv na životné prostredie tým, že ušetrí viac emisií uhlíka, čo prispieva k vašim environmentálnym cieľom. Niet divu, že ho nazývame energeticky úspornou modernizáciou.
Predstavte si, že by ste tieto čísla vynásobili počtom čerpadiel, ktoré je možné vo vašej výrobe vylepšiť?
K dispozícii je aj ďalšia výhoda, že naši zákazníci nemusia plánovať kapitál na nové čerpadlá, pretože modernizáciu možno dosiahnuť prostredníctvom procesu modernizácie inteligentného servisu Edwards.
Modernizácia energeticky úsporného čerpadla EUV
Pri výrobe polovodičov je udržateľnosť čoraz dôležitejšia. Naše modernizácie suchých čerpadiel EUV sú navrhnuté tak, aby podporovali udržateľnosť výrazným znížením spotreby energie v procesoch EUV a spotreby energie EUV. Modernizáciou čerpadiel môžete optimalizovať energetickú účinnosť procesu, dosiahnuť výrazné úspory energie a zároveň zvýšiť produktivitu.
Prečítajte si viac o úsporách energie EUV v našom úspešnom príbehu zákazníka nižšie:
Výmenník tepla
Kontaminácia chladiacej vody v celej továrni predstavuje riziko spôsobené systémami na úpravu výfukových plynov bez prísnych plánov údržby. V mnohých systémoch sú výmenníky tepla náchylné na poškodenie koróziou spôsobené kyslou procesnou chémiou, ktorá môže spôsobiť únik do procesnej chladiacej vody Fab. Táto kontaminácia môže poškodiť iné procesné nástroje, ktoré používajú rovnaký okruh chladiacej vody. Taktiež predstavuje riziko pre životné prostredie, pretože jeho likvidácia je nebezpečná.
Servisná súprava na inováciu výmenníka tepla v teréne je efektívnym riešením, ktoré premení existujúci spájkovaný výmenník tepla na nový dizajn dosky a tesnenia bez výraznej úpravy systému. Poskytuje lepšiu odolnosť voči napadnutiu kyselinou v porovnaní s originálnymi výmenníkmi tepla, ponúka dlhšiu životnosť približne päť až desaťkrát a znižuje riziko kontaminácie chladiacej vody Fab.
