AUMENTA LA PRODUTTIVITÀ RIDUCENDO I COSTI E L'IMPATTO AMBIENTALE
Nell'ambito del nostro processo di miglioramento continuo, sviluppiamo aggiornamenti per aiutare i nostri clienti a migliorare le prestazioni delle loro macchine, ridurre i costi di proprietà e raggiungere i loro obiettivi di sostenibilità.
- Protezione delle prestazioni delle apparecchiature
- Riduzione al minimo del costo totale di proprietà
- Miglioramenti in materia ambientale
PROTEZIONE DELLE PRESTAZIONI DELLE APPARECCHIATURE
Aggiornamenti sviluppati per migliorare le prestazioni delle macchine e aumentare la produttività delle tue operazioni
Aggiornamenti per tecnologie integrate di riduzione delle particelle per turbopompe Maglev
Nell'ambito della nostra missione continua, volta a migliorare la produttività e la resa dei nostri clienti, abbiamo sviluppato una serie di soluzioni che consentono di ridurre la contaminazione da particelle su wafer nel campo dei semiconduttori utilizzando tre tecnologie integrate, la nostra tecnologia Anti-Recoil, la copertura della coppa del rotore e l'uso di pompe ad alta temperatura.
Tecnologia antiritorno
Durante la produzione, le particelle possono tornare dalla turbopompa alla camera, contaminando potenzialmente i wafer e riducendo la produttività. La nostra tecnologia Anti-Recoil riduce significativamente la contaminazione da particelle, consentendo loro di passare facilmente nello scarico attraverso la turbopompa.
Coperchio coppa rotore
Per prevenire la corrosione e l'accumulo di particelle sulla coppa del rotore (all'ingresso della turbopompa), abbiamo sviluppato un'apposita copertura resistente alla corrosione che previene sia la formazione di depositi che la corrosione dei componenti in acciaio inossidabile.
Pompe ad alta temperatura
Un'altra fonte di contaminazione da particelle proviene dai depositi all'interno della turbopompa, che può anche consentire alle particelle di tornare indietro nella camera attraverso la turbopompa. Utilizzando le pompe ad alta temperatura, il percorso del gas viene riscaldato a temperature estremamente elevate riducendo la formazione di depositi. Queste pompe sono dotate di uno speciale rivestimento ad alta emissività termica sui principali componenti per vuoto, come il rotore e lo statore, e il loro profilo di temperatura è costantemente ottimizzato per ottenere i migliori risultati.
Tutte e tre le tecnologie di riduzione del particolato possono essere installate durante una regolare manutenzione della pompa presso il nostro Centro tecnologico di assistenza per garantire ai clienti di ottimizzare la produttività per le nuove attrezzature e la loro base installata esistente.
Migliorate la resa dei semiconduttori con gli aggiornamenti delle pompe EUV
Nel competitivo settore della produzione di semiconduttori, massimizzare la produttività gestendo al contempo i costi energetici negli impianti di produzione è fondamentale. I nostri aggiornamenti delle pompe a secco EUV sono progettati per migliorare significativamente le prestazioni delle apparecchiature, garantendo un miglioramento ottimale della resa dei semiconduttori. Integrando servizi avanzati per le apparecchiature per la produzione di semiconduttori, i nostri aggiornamenti non solo aumentano la resa nella produzione di semiconduttori, ma contribuiscono anche a un notevole risparmio energetico. Questo approccio olistico al miglioramento della resa nei processi dei semiconduttori garantisce che i vostri impianti di produzione funzionino al massimo dell'efficienza.
Protezione per pompa a secco XCEDE per processi di produzione difficili
La tecnologia di protezione della pompa a secco di XCEDE previene la corrosione dei componenti critici della pompa e aumenta il tempo tra gli intervalli di manutenzione, ottimizzando i tempi di attività dei clienti. Questa tecnologia supera in prestazioni tutti i metodi della concorrenza grazie all'utilizzo di una combinazione complessa di trattamento della superficie e ingegneria di precisione per ridurre l'usura chimica e meccanica all'interno del meccanismo della pompa per le famiglie di pompe iH, iXH e iXM di Edwards.
RIDUZIONE AL MINIMO DEL COSTO TOTALE DI PROPRIETÀ
Aggiornamenti sviluppati per aumentare l'intervallo di tempo tra gli interventi di assistenza e ottimizzare l'efficienza della flotta di apparecchiature per ridurre il costo totale di proprietà.
Testa porosa di abbattimento
Edwards ha sviluppato la Testa porosa, un aggiornamento per l'assistenza sul campo che utilizza un blocco di metallo sinterizzato e poroso, che distribuisce uniformemente uno spurgo dell'aria sulla superficie per ridurre il rischio di accumulo di polvere. Sostituisce la tradizionale testa isolante in ceramica.
Durante il processo di abbattimento, i solidi, in genere polveri, possono accumularsi in aree indesiderate del sistema, come la parte inferiore della testa di aspirazione. L'accumulo di polvere crea un'ostruzione che blocca il flusso dei gas di processo, causando frequenti interventi di manutenzione programmata. In un anno di processi intensi, questo accumulo di polvere può causare più di nove interruzioni del servizio, con conseguente aumento dei costi di proprietà dovuto all'uso di manodopera e ricambi.
I clienti che utilizzano l'aggiornamento della testa porosa sono passati da dieci intervalli di manutenzione all'anno a soli due in media. Ciò ha eliminato una media di 64 ore di tempi di fermo utensile all'anno per i clienti senza un sistema di abbattimento di backup, con un conseguente aumento della produttività di $1,5 milioni.
I clienti che dispongono di un sistema di abbattimento di riserva possono ottenere notevoli risparmi sui ricambi, sulla manodopera per la manutenzione e sull'efficienza energetica, riducendo la loro dipendenza dal sistema di riserva.
Liner Pro: un retrofit del bruciatore di nuova generazione
Le fabbriche di semiconduttori sono costantemente sotto pressione per ridurre il rischio di tempi di fermo imprevisti, controllare i costi di manutenzione e migliorare l'efficienza operativa. Liner Pro è un robusto rivestimento di abbattimento progettato per affrontare le sfide ricorrenti della manutenzione del rivestimento del bruciatore nei sistemi di abbattimento. Ora è anche un componente riutilizzabile per supportare i tuoi sforzi di sostenibilità. Integrando Liner Pro in un piano di manutenzione, è possibile semplificare le operazioni, ridurre il costo totale di proprietà e mantenere alte prestazioni in processi esigenti.
Life Services
Le flotte con macchinari in uso da oltre cinque anni rischiano guasti imprevisti nell'elettronica critica, indipendentemente dalle prestazioni meccaniche, che viene preservata principalmente da regimi di manutenzione efficaci.
La soluzione Life Services di Edwards è un'ottima opzione per aggiornare i macchinari e prolungare la durata della flotta. Life Services copre tutte le principali parti elettroniche del sistema con garanzie estese, assicurando il funzionamento delle apparecchiature negli anni a venire.
Life Services è disponibile attraverso la nostra rete globale di Service Technology Centre.
MIGLIORAMENTI IN MATERIA AMBIENTALE
Miglioramenti sviluppati per aumentare la durata della tua flotta di apparecchiature e il suo impatto ambientale, per aiutarti a raggiungere i tuoi obiettivi di sostenibilità.
Riduzione dei costi energetici nella produzione con i nostri aggiornamenti dedicati al risparmio energetico
Questo aggiornamento della pompa a secco Edwards per iXH1210 è una semplice sostituzione, senza ulteriori interventi per i team in loco e senza perdite dovute a tempi di fermo macchina durante il processo di aggiornamento.
Consente di risparmiare circa un terzo dei costi energetici e aiuta a mitigare l'impatto ambientale, riducendo le emissioni di carbonio e contribuendo a raggiungere gli obiettivi ambientali prefissati. Non c'è da stupirsi se lo chiamiamo l'aggiornamento dedicato al risparmio energetico.
Ora immagina di moltiplicare questi numeri per il numero di pompe che possono essere aggiornate nella tua fabbrica.
Esiste anche un altro vantaggio per i nostri clienti, ossia che non hanno bisogno di pianificare investimenti per nuove pompe in quanto l'aggiornamento può avvenire attraverso il processo Intelligent Service di Edwards.
Aggiornamento della pompa a risparmio energetico EUV
Nella produzione di semiconduttori, la sostenibilità sta diventando sempre più fondamentale. I nostri aggiornamenti delle pompe a secco EUV sono progettati per supportare la sostenibilità riducendo significativamente il consumo energetico nei processi EUV e il consumo energetico EUV. Aggiornando le pompe, è possibile ottimizzare le prestazioni energetiche del processo, ottenendo risparmi energetici sostanziali e aumentando al contempo la produttività.
Scopri di più sul risparmio energetico EUV nella nostra storia di successo dei clienti qui sotto:
Scambiatori di calore
La contaminazione dell'acqua di raffreddamento a livello di fabbrica è un rischio derivante da sistemi di abbattimento senza programmi di manutenzione rigorosi. In molti sistemi, gli scambiatori di calore sono soggetti a danni da corrosione causati da sostanze chimiche di processo acide, che possono causare una perdita nell'acqua di raffreddamento di processo della fabbrica. Questa contaminazione può danneggiare altri strumenti di processo che utilizzano lo stesso circuito dell'acqua di raffreddamento. Inoltre, rappresenta un rischio per l'ambiente poiché lo smaltimento è pericoloso.
Il kit di aggiornamento per la manutenzione sul campo di uno scambiatore di calore è una soluzione efficace che converte lo scambiatore di calore brasato esistente in un nuovo tipo con piastra e guarnizione, senza modifiche significative al sistema. Fornisce una migliore resistenza all'attacco di acidi rispetto agli scambiatori di calore originali, offrendo una durata superiore di circa cinque-dieci volte e riducendo il rischio di contaminazione dell'acqua di raffreddamento della fabbrica.
