비용 및 환경에 미치는 영향은 줄이고 생산성은 높이기
Edwards는 고객의 제품 성능을 개선하고 소유 비용을 절감하여 지속 가능성 목표를 달성할 수 있도록 업그레이드를 설계했습니다.
- 장비 성능 보호
- 총 소유 비용 최소화
- 친환경 업그레이드
장비 성능 보호
장비 성능을 향상시키고 운영 생산성을 극대화하도록 설계된 업그레이드
자기부상 터보 펌프에 대한 온툴 입자 감소 업그레이드
Edwards에서는 고객의 생산성과 수율 향상을 위해, 반도체 응용 분야에서 웨이퍼 오염 입자를 줄일 수 있는 일련의 솔루션을 개발했습니다. 이러한 솔루션에는 Anti-Recoil 기술, 로터 컵 커버, 그리고 고온 펌프가 포함됩니다.
반동 방지(Anti-Recoil) 기술
제품 가동 중, 부산물이 터보 펌프에서 챔버로 반동하여 웨이퍼를 오염시키고 생산성을 떨어뜨릴 수 있기 때문에 Edwards의 Anti-Recoil 기술은 부산물들이 터보 펌프를 통해 배기 시스템으로 쉽게 통과할 수 있도록 하여 오염을 크게 줄여줍니다.
로터 컵 커버
로터 컵(터보 펌프 입구)에 부식 및 입자가 축적되는 것을 방지하기 위해, Edwards는 부식 방지 로터 컵 커버를 개발하여 스테인리스강 구성 요소의 증착과 부식을 모두 방지합니다.
고온 펌프
또 다른 오염원은 터보 펌프 내부의 증착에서 비롯되며, 부산물이 터보 펌프를 통해 챔버로 다시 이동할 수도 있습니다. 고온 펌프를 사용하면 가스 경로가 매우 높은 온도까지 가열되어 증착 상태가 완화됩니다. 이러한 펌프는 로터 및 스테이터와 같이 주요 부품에 높은 열 방사율 코팅과 같은 기술이 적용되어 있으며, 온도를 최적화합니다.
서비스 기술 센터에서 제공하는 정기 유지보수 서비스 중 업그레이드를 진행하여 새로운 부산물 저감 기술로 신규 제 및 기존에 사용하던 제품에 대한 생산성을 최적화할 수 있습니다.
EUV 펌프 업그레이드로 반도체 수율 향상
경쟁이 치열한 반도체 제조 산업에서는 생산성을 극대화하는 동시에 제조 시설의 에너지 비용을 관리하는 것이 중요합니다. 당사의 EUV 건식 펌프 업그레이드는 장비 성능을 크게 향상시켜 최적의 반도체 수율 개선을 보장하도록 설계되었습니다. 첨단 반도체 장비 서비스를 통합함으로써 우리의 업그레이드는 반도체 제조의 수율을 높일 뿐만 아니라 상당한 에너지 절감에도 기여합니다. 반도체 프로세스의 이러한 전체적인 접근 방식을 통해 반도체 공정의 생산성 향상을 통해 제조 시설이 최고의 효율성으로 운영되도록 보장합니다.
EUV 펌프 업그레이드로 반도체 수율 개선
치열한 경쟁이 펼쳐지는 반도체 제조 산업에서 생산성을 극대화하면서 에너지 비용을 효율적으로 관리하는 것은 필수적입니다. Edwards의 EUV Dry Pump Upgrade는 장비 성능을 대폭 향상시켜 최적의 반도체 수율 개선을 보장합니다. 또한, 첨단 반도체 장비 서비스를 통합하여 수율 향상뿐만 아니라 상당한 에너지 절감 효과까지 제공합니다. 이러한 종합적인 접근 방식은 반도체 공정의 수율을 높이고, 제조 시설이 최고 효율로 운영될 수 있도록 지원합니다.
까다로운 공정 대응이 가능한 XCEDE 건식 펌프 보호 기술
XCEDE 건식 펌프 보호 기술은 펌프를 구성하는 주요 부품의 부식을 방지하고 서비스 주기 간 간격을 늘려 가동 시간을 극대화합니다. 이 기술은 Edwards IH, iXH 및 iXM 펌프 제품군의 펌프 메커니즘 내에서 화학적 및 기계적 마모를 줄이기 위한 표면 처리 및 정밀 엔지니어링 조합을 사용하여 성능이 뛰어납니다.
총 소유 비용 최소화
장비의 효율을 높여 서비스 간 간격을 늘리고 총 소유 비용을 절감할 수 있도록 도와줍니다.
가스 저감 시스템의 Porous Head
Edwards는 기존의 세라믹 절연 헤드를 대체하는 필드 서비스 업그레이드인 Porous Head를 개발했습니다. 이 업그레이드는 소결된 다공성 금속 블록을 활용하여 공기 퍼지를 균일하게 분산시키며, 이를 통해 분말 축적 위험을 효과적으로 감소시킵니다.
배기 처리 과정에서 분말 형태의 고체가 시스템 내 원치 않는 부위, 특히 인렛 헤드 하단에 축적될 수 있습니다. 이러한 분말 축적은 프로세스 가스의 흐름을 차단하여 빈번한 계획된 유지보수를 초래합니다. 특히 가혹한 공정에서는 1년 동안 9회 이상의 서비스 중단이 발생할 수 있으며, 이는 인건비 및 예비 부품 사용 증가로 인해 총 소유 비용 상승으로 이어집니다.
Porous Head 업그레이드를 적용한 고객들은 연간 10회의 서비스 주기를 평균 2회로 줄였습니다. 이를 통해 백업 배기 시스템이 없는 고객의 경우 연간 평균 64시간의 장비 다운타임을 절감했으며, 결과적으로 150만 달러의 추가 처리량을 확보했습니다
백업 저감 시스템을 사용하는 고객은 백업 시스템에 대한 의존도를 줄임으로써 예비 부품, 정비 인력, 에너지 효율성 증대로 인해 상당한 절감 효과를 볼 수 있습니다.
Life Services
이미 5년 이상 사용된 장비는 유지보수를 통해 기계적 성능을 유지하더라도, 핵심 부품에서 예상치 못한 고장이 발생할 위험이 있습니다.
Edwards Life Services 솔루션은 장비를 새롭게 유지하고 플릿의 수명을 연장하는 최적의 선택입니다. Life Services는 주요 시스템 전자 부품을 포함한 연장 보증을 제공하여, 장비가 오랫동안 안정적으로 운영될 수 있도록 지원합니다.
Life Services는 전 세계 Edwards Service Technology Center(STC) 네트워크를 통해 제공됩니다.
친환경 업그레이드
장비 수명을 늘리고 환경적 영향을 줄여 지속 가능성 목표를 달성할 수 있도록 설계된 업그레이드입니다.
Edwards의 에너지 절약 업그레이드를 통해 생산에 드는 에너지 비용을 절감
기존 iXH1210을 업그레이드하는 Edwards Dry Pump 업그레이드 과정은 간편한 교체 방식으로 현장 팀의 추가 작업 없이 진행되어 다운타임 손실이 전혀 발생하지 않습니다.
또한 업그레이드 후 장비 운영 시 에너지 비용을 거의 3분의 1로 절감할 수 있고 탄소 배출량을 감소시켜 환경에 영향을 덜 끼치게 되므로 환경 목표 달성에도 도움을 줄 수 있습니다. 이번 업그레이드가 '에너지 절감 업그레이드'라고 불리는 이유 중 하나입니다.
귀사 팹에 있는 펌프들을 업그레이드 함으로써 얻을 수 있는 효과를 생각해 보십시오.
또한 업그레이드 과정은 Edwards Intelligent Service 업그레이드 프로세스를 통해서 진행되기 때문에 고객이 새 펌프를 위한 투자 계획을 따로 세울 필요가 없다는 장점도 있습니다.
EUV 에너지 절약 펌프 업그레이드
반도체 제조에서 지속 가능성은 점점 더 중요해지고 있습니다. 당사의 EUV 건식 펌프 업그레이드는 EUV 공정에서 에너지 소비와 EUV 전력 소비를 크게 줄임으로써 지속 가능성을 지원하도록 설계되었습니다. 펌프를 업그레이드하면 공정의 에너지 성능을 최적화하여 상당한 에너지 절감 효과를 거두면서 생산성을 높일 수 있습니다.
아래의 고객 성공 사례에서 EUV 에너지 절약에 대해 자세히 알아보십시오.
열 교환기
가스저감 제품에 대한 정기적이고 꼼꼼한 점검 진행하지 않을 경우, 팹 전체에 냉각수 오염이 발생할 수 있습니다. 대부분의 시스템에서의 열 교환기는 산성을 띄는 공정 화학물질로 인한 부식에 취약하며, 이 경우 팹의 공정 냉각수로 누출될 위험 또한 있습니다. 이 오염은 동일한 냉각수 회로를 사용하는 다른 공정 툴을 손상시킬 수 있으며 폐기 시에도 환경에 위험을 초래할 수 있습니다.
열 교환기 업그레이드 키트는 기존의 브레이징된 열 교환기를 시스템에 대한 큰 변화 없이 새 플레이트와 개스킷 설계만으로 업그레이드를 진행합니다. 이 제품은 기존 열 교환기 모델과 비교하여 산성 물질 공격에 대한 저항성을 개선하여 사용 수명이 약 5-10배 향상되었으며 팹 냉각수 오염의 위험을 줄여줍니다.
