Edwards Menjawab Garis Panduan Gas Rumah Kaca Baharu Pertubuhan Bangsa-Bangsa Bersatu

Garis panduan IPCC yang lebih ketat termasuk pengiraan pembentukan dan pelepasan produk sampingan CF4.

BURGESS HILL, WEST SUSSEX, U.K. (29 Mei 2019) – Panel Antara Kerajaan mengenai Perubahan Iklim (IPCC), badan Pertubuhan Bangsa-Bangsa Bersatu untuk menilai sains yang berkaitan dengan perubahan iklim, baru sahaja mengeluarkan penambahbaikan terkini kepada Garis Panduan 2006. Sebagai sebahagian daripada usaha untuk menangani perubahan iklim, peraturan yang diperkemas ini mengetatkan kawalan terhadap gas rumah hijau baru yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor dan meningkatkan keperluan untuk pelaporan dan tanggungjawab bagi pengeluar.

"IPCC telah mengakui bahawa terdapat jurang antara jumlah gas rumah hijau yang diukur di atmosfera dan jumlah yang dikira daripada inventori sumber emisi yang diketahui," kata Prof. Mike Czerniak, Profesor Industri Pelawat, Universiti Bristol, dan Pengurus Pembangunan Perniagaan Penyelesaian Alam Sekitar, Edwards. Jurang ini menjadi perhatian khusus bagi gas seperti sebatian perfluoro (PFC), yang bukan sahaja mempunyai potensi pemanasan global (GWP) yang luar biasa tinggi tetapi juga jangka hayat yang sangat panjang di atmosfera, sehingga 50,000 tahun. Dua mekanisme baru untuk pembentukan PFC semasa pembuatan semikonduktor telah dikenalpasti dan faktor emisi telah ditambahkan ke dalam penyempurnaan IPCC terkini: 1) pembentukan CF4 semasa pembersihan deposit ruang pemendapan wap kimia (CVD). 2) Pembentukan CF4 melalui reaksi fluor dengan bahan bakar hidrokarbon dalam pengurangan berasaskan pembakaran dalam sistem yang mencampurkan bahan bakar dan effluen ruang proses.

"Untuk pertama kalinya, terdapat faktor emisi baru untuk pengurangan berasaskan pembakaran fluor - tanggungjawab langsung kini diperlukan, dalam bentuk pensijilan yang disokong data daripada pengeluar peralatan bahawa reaksi telah diminimumkan," kata Prof. Czerniak. Pembentukan PFC dapat diminimumkan melalui reka bentuk pembakar yang sesuai. Pembakar yang dinyalakan ke dalam oleh Edwards mengelakkan pencampuran gas ekzos ruang dan bahan api yang, dalam reka bentuk lain, boleh menyebabkan pengeluaran PFC di mana ia tidak wujud dalam aliran ekzos asal. Profil suhu yang lebih rendah dan lebih seragam pada pembakar yang dinyalakan dari dalam memastikan kecekapan penghapusan pemusnahan yang tinggi (DRE), dengan penghasilan NOx yang rendah. Pembakar yang membakar dari dalam telah menjadi standard pada sistem pengurangan Edwards sejak syarikat mula mengembangkannya pada tahun 1990-an. Kunjungi Edwards (gerai #750) semasa SEMICON West untuk mengetahui lebih lanjut mengenai garis panduan IPCC terkini dan amalan terbaik untuk mengurangkan gas rumah hijau. SEMICON West akan diadakan pada 9-11 Julai 2019, di San Francisco, California.