Edwards RGA残留ガス分析器

RGAには2つのタイプがあります。どちらもシンプルで効果的な操作性能を備え、高い性能と効率を実現します

すべてのRGAには専用の使いやすいソフトウェアが搭載されており、お手持ちのラップトップからリアルタイムでプロセスを追跡し、最大16台まで装置の詳しい分析を行うことができます。

スナップショットビューを希望される場合、装置には独自の組込ディスプレイが搭載されているため、ラップトップに接続することなく、お客様のシステムにおける主要なガスのタイプや、全体の圧力を確認することができます。

PRA：基本的なガス分析器

高性能と操作性の完璧なバランスを実現。

基本的なモデルで十分な場合や、感度/範囲の上級モデルが必要な場合など、プロセスのニーズに合わせて4つのタイプをご用意しています。
PRAは、プロセス分析の第一歩に最適です。

WRA：広範な残留ガス分析器

市場をリードする仕様を備えた、製品ラインのトップモデル。

1～200 amuと1～300 amuの2種類があり、プロセスで発生するさまざまなガス/副生成物を測定できます。
PRAより高い感度を備え、さらに高い精度での測定が可能です。

独自のメリット

トータルな圧力測定

完全なプロセス制御

デュアルフィラメント

極めて高い信頼性と稼働時間を実現

ディスプレイ付きの装置

基本測定にPCは不要

お客様が交換できる部品

ガス抜き機能

イオン源とEMの保護

用途と市場

RGAは、以下などの用途で必要なガスとその組成を分析します。

リーク検出とリーク箇所の特定
汚染物質の検出と特定
ガス純度の確認
製品/プロセスの品質保証
装置/プロセスの診断と制御
プロセスのパフォーマンスと生産性を最適化

幅広い用途に最適なソリューション

半導体プロセス
薄膜およびディスプレイ
真空熱処理
真空フリーズドライ
研究開発
高エネルギー物理学

ドキュメント

Vacuum Measurement and Control Brochure 3.1 MB, PDF
RGA Residual Gas Analysers Brochure 2.3 MB, PDF
RGA Residual Gas Analysers Product Datasheet 254.2 kB, PDF

Edwardsの新しいインテリジェントなEJGO真空ポンプコントローラをご紹介します

米国マサチューセッツ州で2022年にオープンするEdwardsクライオポンプ製造施設

Vacuum Pump Remote Monitoring

夏季連休中のサービス体制について

We are very proud that the winner of the 2022 Harry Leck Memorial Medal is Dr Andrew Chew.

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