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残留ガス分析

高性能と操作性の完璧なバランス

Edwards RGA残留ガス分析器

RGAには2つのタイプがあります。どちらもシンプルで効果的な操作性能を備え、高い性能と効率を実現します  

スナップショットビューを希望される場合、装置には独自の組込ディスプレイが搭載されているため、ラップトップに接続することなく、お客様のシステムにおける主要なガスのタイプや、全体の圧力を確認することができます。

PRA:基本的なガス分析器

高性能と操作性の完璧なバランスを実現。

  • 基本的なモデルで十分な場合や、感度/範囲の上級モデルが必要な場合など、プロセスのニーズに合わせて4つのタイプをご用意しています。
  • PRAは、プロセス分析の第一歩に最適です。

WRA:広範な残留ガス分析器

市場をリードする仕様を備えた、製品ラインのトップモデル。

  • 1~200 amuと1~300 amuの2種類があり、プロセスで発生するさまざまなガス/副生成物を測定できます。 
  • PRAより高い感度を備え、さらに高い精度での測定が可能です。

トータルな圧力測定

完全なプロセス制御

デュアルフィラメント

極めて高い信頼性と稼働時間を実現

ディスプレイ付きの装置

基本測定にPCは不要

お客様が交換できる部品
ガス抜き機能
イオン源とEMの保護
RGAは、以下などの用途で必要なガスとその組成を分析します。

  • リーク検出とリーク箇所の特定
  • 汚染物質の検出と特定 
  • ガス純度の確認
  • 製品/プロセスの品質保証
  • 装置/プロセスの診断と制御
  • プロセスのパフォーマンスと生産性を最適化

幅広い用途に最適なソリューション

  • 半導体プロセス
  • 薄膜およびディスプレイ
  • 真空熱処理
  • 真空フリーズドライ
  • 研究開発
  • 高エネルギー物理学