コンプレッサ

一体型のクライオポンプ電力周波数コンバータにより、すべてのエドワーズ真空ポンプの、50 Hzおよび60 Hzどちらの用途においても最大のクライオポンプ性能を発揮します。

• 長い耐用年数、高い信頼性、使いやすさを追求して専用設計されたこのコンプレッサは、Cryo-Torrクライオポンプ、On-Boardクライオポンプ、On-Boardウォーターポンプ、On-Board TurboPlus真空ポンプのすべてに対して卓越した性能を発揮します。9600コンプレッサは、単一ポンプ構成とグループポンプ構成の両方をサポートし、世界中のあらゆるCTI-Cryogenicsポンプ装置に対応します。

• ヘリウム出力が強化された9700Aコンプレッサは、複数のクライオポンプ稼働に最適です。多くの複数クライオポンプおよび水ポンプ用途において、1台の9700Aコンプレッサでシングルコンプレッサソリューションを実現します。9700Aコンプレッサは、複数のコンプレッサを使用する場合と比較して、電力消費、配水、設置面積を削減します。Cryo-TorrおよびOn-Boardクライオポンプと互換性があります。

• IS-1000コンプレッサ - On-Board ISクライオポンプ用のインテリジェントな高効率コンプレッサテクノロジーです。IS-1000コンプレッサは、9600コンプレッサと同じ設置面積で最大6台のOn-Board IS-8Fクライオポンプに対応します。
  IS-2000Vコンプレッサ - 高圧、回転技術、SEMI S-23目標に合わせた調節可能なヘリウム供給の組み合わせにより、すべての動作段階で最小の電力使用量を実現します。IS-2000Vは、On-Board IS-1000コンプレッサ2台と置き換えることができます。この大容量ヘリウムコンプレッサは、On-Board ISクライオポンプ用途をサポートするよう設計されています。一体型のクライオポンプ電力周波数コンバータにより、50 Hzと60 Hzどちらの用途においても最大のクライオポンプ性能を発揮します。