統合を加速させて、システム運用を改善
エドワーズ CTI-Cryogenics On-Board真空ポンプは、統合を加速させ、システム運用を改善する、信頼性と性能の世界標準として知られています。
On-Boardクライオポンプは、完全に一体化されたコントロールとサポート周辺機器を備え、優れた安定性能を発揮することで、全体的なツール生産性と稼働時間を向上させます。
主な機能
- 再生間のクライオポンプ性能を拡張するFast Regen™機能
- お使いのクライオポンプをネットワーク化することで同時再生機能を実現し、システム全体の再生を高速化
- 内蔵マイクロプロセッサ制御による性能強化、通信機能および診断ルーチンの実行
- 高度なソフトウェアと使いやすいグラフィカルユーザインターフェイスにより、性能と動作が大幅に向上
| On-Boardクライオポンプモデル | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| 排気速度 - L/s | ||||||||
| 水蒸気 | 1100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17500 | 30,000 |
| エア | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 3,600 | 2,200 | 6,000 | 10,000 |
| 水素 | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 6,000 | 3,200 | 12,000 | 12,000 |
| アルゴン | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 3,000 | 1800 | 5,000 | 8400 |
| 容量 - 標準リットル | ||||||||
| アルゴン | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2,000 | 1,000 | 2,500 | 6,000 |
| 水素（5 x 10-6 Torr） | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| 公称再生時間（冷間） | ||||||||
| 第1段と第2段 | 75分 | 2.5時間 | 2.5時間 | 2.5時間 | 2.5時間 | 3.3時間未満 | 3時間 | 3.8時間未満 |
| 第2段 | 1時間未満 | 1時間未満 | 1時間未満 | 1時間未満 | 1時間未満 | 1.5時間未満 | 1.5時間未満 | - |
Loading...
