チャンバーソリューション上では
低振動およびメンテナンスフリー
メンテナンスフリーの安定した信頼できる性能をお求めであれば、当社のターボ分子ポンプシリーズが基準を定めます。ロータが磁気ベアリングにより完全に浮上しているため、長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気、ミニマムメンテナンス、および低振動が求められる用途に最適です。
低振動およびメンテナンスフリー
メンテナンスフリーの安定した信頼できる性能をお求めであれば、当社のターボ分子ポンプシリーズが基準を定めます。ロータが磁気ベアリングにより完全に浮上しているため、長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気、ミニマムメンテナンス、および低振動が求められる用途に最適です。
