Edwards CTI-Cryogenics 컴프레셔 제품군
Edwards CTI-Cryogenics는 On-Board 크라이오 펌프, Cryo-Torr 크라이오 펌프 및/또는 On-Board 용수 펌프와 함께 최적의 성능을 낼 수 있도록 설계된 컴프레셔들을 제시합니다.
통합된 크라이오 펌프 전력 주파수 변환기는 모든 Edwards 진공 펌프에 대해 50 및 60 Hz 모두에서 최대 성능을 확보합니다.
8200 컴프레셔
- 8200 컴프레셔는 On-board 크라이오 펌프, On-board 용수 펌프 및 Cryo-Torr 크라이오 펌프를 통해 최적의 성능을 제공하도록 설계되었으며, 최대 8인치 크기까지 모든 펌프를 지원합니다. 8200은 유연성을 고려하여 설계되었기 때문에 시스템 작동에 가장 편리한 위치에 컴프레셔를 배치할 수 있습니다.
- Edwards CTI-Cryogenics 8200 Compressor Data sheet 335.1 kB, PDF
9600 컴프레셔
- 오랜 수명, 높은 신뢰성 및 사용 용이성을 위해 특별히 설계된 9600 컴프레셔는 Cryo-Torr 크라이오 펌프, On-board 크라이오 펌프, On-board 용수 펌프 및 On-Board TurboPlus 진공 펌프에 뛰어난 성능을 제공합니다. 9600은 단일 및 그룹화된 펌프 구성을 모두 지원하며 전 세계 CTI-Cryogenics 펌핑 설비와 호환됩니다.
- Edwards CTI-Cryogenics 9600 Compressor Data sheet 645.2 kB, PDF
9700A 컴프레셔
- 9700A 컴프레셔는 헬륨 출력이 증가하여 여러 크라이오 펌프 작동에 이상적입니다. 여러 개의 크라이오 펌프 및 용수 펌프 응용 분야에서 하나의 9700A 컴프레셔가 단일 컴프레셔 솔루션을 제공합니다. 9700A 컴프레셔는 여러 컴프레셔를 적용하는 것에 비해 전력 소비, 용수 분배 및 설치 공간을 줄여 주며 Cryo-Torr 및 On-board 크라이오 펌프와 호환됩니다.
- Edwards CTI-Cryogenics 9700a Compressor Data sheet 408.5 kB, PDF
IS 급수식 스크류 컴프레셔
- IS-1000 컴프레셔 - On-Board IS 크라이오 펌프를 위한 지능형 고효율 컴프레셔 기술을 사용합니다. IS-1000 컴프레셔는 9600 컴프레셔와 동일한 설치 공간에서 최대 6개의 On-Board IS-8F 크라이오 펌프를 지원합니다.
IS-2000V 컴프레셔 - 모든 작동 단계에서 고압, 로터리 기술 및 적응식 헬륨 공급을 조합하여 SEMI S-23 목표에 맞춰 전력을 가장 적게 사용합니다. IS-2000V는 On-Board IS-1000 컴프레셔 2대를 대체합니다. 이 고용량 헬륨 컴프레셔는 On-Board IS 크라이오 펌프 응용 분야를 지원하기 위해 설계되었습니다. 통합 크라이오 펌프 전력 주파수 변환기는 50 Hz 및 60 Hz 응용 모두에서 크라이오 펌프 성능을 보장합니다.
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