Compressores

Um conversor de frequência de potência para bomba criogênica integrado garante o máximo desempenho da bomba criogênica em aplicações de 50 e 60 Hz para todas as bombas de vácuo da Edwards.

• Projetado especificamente para longa vida útil, alta confiabilidade e facilidade de uso, este compressor oferece desempenho excepcional com todas as bombas criogênicas Cryo-Torr, bombas criogênicas integradas, bombas de água integradas e bombas de vácuo TurboPlus integradas. O 9600 suporta configurações de bomba única e agrupada e é compatível com instalações de bombeamento CTI-Cryogenics em todo o mundo.

• Com maior saída de hélio, o compressor 9700A é ideal para operar várias bombas criogênicas. Em várias aplicações de bombas criogênicas e bomba de água, um compressor 9700A fornece uma solução de compressor único. O compressor 9700A, que reduz o consumo de energia, a distribuição de água e a área ocupada quando comparado a várias aplicações de compressor, é compatível com bombas criogênicas integradas e Cryo-Torr.

• Compressor IS-1000 - tecnologia de compressor inteligente e de alta eficiência para bombas criogênicas IS integradas. O compressor IS-1000 suporta até seis bombas criogênicas IS-8F integradas na mesma área ocupada de um compressor 9600.
  Compressor IS-2000V - oferece menor consumo de energia em todas as fases de operação através da combinação de pressão mais alta, tecnologia rotativa e fornecimento adaptável de hélio, alinhando com os objetivos do SEMI S-23. O IS-2000V substitui dois compressores IS-1000 integrados. Este compressor de hélio de alta capacidade foi projetado para suportar aplicações de bombas criogênicas IS integradas. Um conversor de frequência de potência para bomba criogênica integrado garante o máximo desempenho da bomba criogênica em aplicações de 50 e 60 Hz.