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Prodotti per l'industria dei semiconduttori
Novità
Pompa a vuoto a secco Ganymede ad alta resistenza per applicazioni nel settore dei semiconduttori
Pompe per vuoto a secco Nextgen per processi semiconduttori gravosi, che riducono il TCoO, migliorano la disponibilità e supportano gli obiettivi di sostenibilità degli stabilimenti.
EUV Vizeon
Sistema sub-fab integrato per litografia EUV che combina vuoto, gestione e recupero dell'idrogeno per migliorare efficienza, disponibilità e costi.