Raggiungi nuovi livelli di prestazioni con la pompa criogenica
La pompa criogenica CTI-Cryogenics On-Board® IS 320F XVS rispetta la tradizione di Edwards per la produzione delle pompe criogeniche più affidabili e che offrono le migliori prestazioni sul mercato.
La pompa criogenica On-Board® IS 320F XVS è progettata per offrire le massime prestazioni di pompaggio di idrogeno e migliorare la resa e la produttività dei processi, offrendo la risposta perfetta alle attuali sfide delle applicazioni di impiantazione ionica.Il controllo intelligente del sistema integrato nella pompa criogenica è garanzia di una migliore qualità del processo, uniformità del vuoto e tempi di attività, fornendo al contempo informazioni in tempo reale sul sistema per un controllo ottimale delle temperature dell'array. La qualità del vuoto è ottimizzata grazie all'adattamento automatico alle variazioni delle condizioni di carico termico/gas.
- Prestazioni del vuoto stabili
- Prestazioni del vuoto ottimizzate
- Compatibilità del sistema
Prestazioni del vuoto stabili
- Variazione della velocità di pompaggio H2 ridotta tra le rigenerazioni
- Impatto ridotto sulla velocità di pompaggio H2 a causa della contaminazione di fotoresist
- Temperature dell'array stabili e ottimizzate
Prestazioni del vuoto ottimizzate
- Velocità di pompaggio H2 alta - 15.500 L/S
- Elevata capacità H2 – 40 STD-L
Compatibilità del sistema
- Sistemi criogenici On-Board IS
- Compressori IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
- Variazione della velocità di pompaggio H2 ridotta tra le rigenerazioni
- Impatto ridotto sulla velocità di pompaggio H2 a causa della contaminazione di fotoresist
- Temperature dell'array stabili e ottimizzate
- Velocità di pompaggio H2 alta - 15.500 L/S
- Elevata capacità H2 – 40 STD-L
- Sistemi criogenici On-Board IS
- Compressori IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
