Performances de vide et efficacité énergétique incomparables
Les systèmes de pompe cryogénique IS CTI-Cryogenics d'Edwards font entrer cette technologie innovante dans une nouvelle dimension en affichant des performances de vide et une efficacité énergétique incomparables.
Un système de commande réparti breveté surveille et ajuste en permanence les éléments individuels du système de pompe cryogénique afin de maintenir des performances de vide optimales à l'échelle du système pour une homogénéité exceptionnelle du processus. Les pompes cryogéniques IS On-Board® offrent le temps de fonctionnement le plus élevé, la meilleure productivité et le coût total de possession le plus faible de tous les systèmes de pompe cryogénique actuellement disponibles, avec le soutien d'Edwards, un réseau mondial de service et d'assistance hautement réactif.
IS XP
La pompe cryogénique On-Board® IS XP offre une capacité accrue pour les applications PVD afin d’atteindre une productivité maximale tout en maintenant la transparence du processus. Parallèlement, elle exploite l’efficacité énergétique éprouvée, la performance constante et le faible coût de possession que vous attendez de la gamme On-Board® IS.
- Présente des capacités générales adaptables à de futures améliorations de procédé
- Coût d'exploitation réduit
- Temps d'utilisation accru
- Technologie d'« auto-réglage » intelligente permettant des performances de vide constantes
Pompe cryogénique IS 320FX
La pompe cryogénique On-Board® IS 320FX, développée spécifiquement pour répondre aux défis des procédés d’implantation ionique actuels, offre une vitesse et une capacité de pompage de l’hydrogène améliorées, tout en maintenant la qualité, la performance et la fiabilité auxquelles vous êtes habitué.
- Spécialement conçue pour des applications d'implantation ionique
- Optimisée pour le débit de l'outil
- Technologie d'« auto-réglage » intelligente
- Coût d'exploitation réduit
- Optimisation du temps productif
Pompe cryogénique On-Board® IS 320F XVS
Atteignez de nouveaux niveaux de performances en termes de pompe cryogénique
La pompe cryogénique IS XVS 320F On-Board CTI-Cryogenics perpétue la tradition d'Edwards pour fournir les pompes cryogéniques d'implantation les plus fiables et les plus performantes du marché.
