Eine Turbomolekularpumpe ist eine mehrstufige Axialturbine, in der sich Rotorblätter mit hoher Geschwindigkeit drehen und für Kompression sorgen, indem sie die Wahrscheinlichkeit erhöhen, dass sich Gas in die Pumprichtung bewegt. Die Turbomolekularpumpe eignet sich optimal für Molekularströmungsbedingungen und erfordert eine entsprechend bemessene Vorvakuumpumpe, um Abluft gegen Atmosphärendruck abzuführen.
Die nEXT Turbomolekularpumpen basieren auf unseren bewährten EXT- und STP-Produktreihen.
Sie bieten überragende Leistung, Zuverlässigkeit und Wartungsfreundlichkeit für den Endbenutzer und setzen damit Maßstäbe für Turbomolekularpumpen im wissenschaftlichen Bereich.
Die nEXT verfügt über die modernste Turbomolekularpumpen-Technologie und bietet Pumpengrößen mit Stickstoffpumpgeschwindigkeiten von 55, 85, 240, 300, 400, 730, 925 und 1250 l/s. Sie kann vom Endbenutzer gewartet werden und ist ein wirklich erstklassiges Produkt.
Die Pumpen nEXT55 und nEXT85 sind die kompaktesten Pumpen der nEXT-Baureihe, mit deutlich reduzierter Höhe und verbesserter Leistung in einem kleineren Paket. Diese Pumpen bieten Stickstoffpumpgeschwindigkeiten von 55 l/s und 85 l/s und die höchste Pumpdichte aller Pumpen in ihrer Klasse mit einer fast doppelt so schnellen Pumpgeschwindigkeit wie ähnlich große Turbopumpen.
Die Pumpen nEXT240, nEXT300 und nEXT400 setzen Maßstäbe für Turbomolekularpumpen im wissenschaftlichen Bereich und basieren auf jahrzehntelanger Erfahrung sowie unseren bewährten EXT- und STP-Produktreihen. Mit diesen seit langem bewährten Modellen bieten wir eine Vielzahl von Größen und Varianten an, sodass OEMs und Endbenutzer eine größere Auswahl und Flexibilität haben, um die für sie am besten geeignete Vakuumlösung auf ihre individuellen Bedürfnisse zuzuschneiden.
Mit den Pumpen nEXT730 und nEXT930 erweiterte Edwards das Sortiment unserer marktführenden nEXT-Plattform um zwei größere Pumpen mit Stickstoffpumpgeschwindigkeiten von deutlich über 730 l/s und 925 l/s. Mit der nEXT1230 erweitern wir dies nun zusätzlich um Stickstoffpumpgeschwindigkeiten von 1250 l/s. Diese kompakten Pumpen können in jeder Ausrichtung betrieben werden und werden von einem umfassenden Sortiment an Zubehör für Kühlung, Lüftung, Stromversorgung und Steuerung unterstützt.Diese Pumpen sind nicht nur für den allgemeinen F&E-Markt gedacht, wo manchmal höhere Pumpendrehzahlen erforderlich sind, sondern orientieren sich auch an den Anforderungen des Beschichtungsmarktes und anderer Marktsegmente wie Wärmebehandlung, Ofenanwendungen, Elektronenstrahlschweißen, Ätzen, Ionenimplantation, Entgasen und Zylinderevakuierung.
nEXT55 | nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
Einlassflansch | DN63 ISO-K oder DN63CF | DN40 | DN63 ISO-K oder DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K oder DN100CF | DN100 ISO-K oder DN100CF | DN160 ISO-K oder DN160-CF | |
Einlass-Saugvermögen ls-1 | N2 | 55 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
Ar | 55 | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
He | 41 | 61 | 78 | 80/78 (D/H) | 230 | 340 | 390 | |
H2 | 27 | 49/44 (D/H) | 60/54 (D/H) | 60/54 (D/H) | 165 | 280 | 325 | |
Verdichtungsverhältnis (D) | N2 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 |
Ar | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | |
He | 8 x 106/2 x 107 (D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | ||||
H2 | 2 x 105/5 x 105 (D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | ||||
Verdichtungsverhältnis (T/H) | N2 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | ||||
He | 1 x 106 | 3 x 106 | > 1 x 108 | |||||
H2 | 1,5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 |
nEXT730D | nEXT930D | nEXT1230 | |||||
ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | DN 200 CF | DN 200 ISO-F | DN 200 ISO-K | |
Haupteinlass Saugvermögen |
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N2 ls-1 | 730 | 925 | 1250 | ||||
He ls-1 | 820 | 905 | 1150 | ||||
H2 ls-1 | 715 | 735 | 1350 | ||||
Ar ls-1 | 665 | 865 | 1150 | ||||
Spitzenverdichtungsverhältnis vom Vorvakuumanschluss zum Haupteinlassanschluss | |||||||
N2 | >1x1011 | >1x1011 | 1 x 1011 | ||||
He | 1,2x108 | 1,2x108 | 4 x 108 | ||||
H2 | 4x106 | 4x106 | 1 x 107 | ||||
Ar | >1x1011 | >1x1011 | 1 x 1011 | ||||
Endvakuum (mbar) (CF) | 3,0x10-10 | 3,0x10-10 | < 5 x 10-10 | zeigt einen höheren Druck für ISO-K und ISO-F an | |||
Gewicht (kg) | 14,6 | 19,6 | 15,4 | 21,7 | 32,6 | 24,9 | 23,7 |
Durchsatz bei maximaler Drehzahl: | |||||||
N2 | 14 | 14 | 12 | ||||
He | 21 | 21 | <20 | ||||
H2 | >14 | >14 | <20 | ||||
Ar | 3,5 | 3,5 | 4 |