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nEXT Turbomolekularpumpen

nEXT Turbomolekularpumpen von Edwards

Eine Turbomolekularpumpe ist eine mehrstufige Axialturbine, in der sich Rotorblätter mit hoher Geschwindigkeit drehen und für Kompression sorgen, indem sie die Wahrscheinlichkeit erhöhen, dass sich Gas in die Pumprichtung bewegt. Die Turbomolekularpumpe eignet sich optimal für Molekularströmungsbedingungen und erfordert eine entsprechend bemessene Vorvakuumpumpe, um Abluft gegen Atmosphärendruck abzuführen.   

Außergewöhnliche Leistung der nEXT-Baureihe

Die nEXT verfügt über die modernste Turbomolekularpumpen-Technologie und bietet Pumpengrößen mit Stickstoffpumpgeschwindigkeiten von 55, 85, 240, 300, 400, 730, 925 und 1250 l/s. Sie kann vom Endbenutzer gewartet werden und ist ein wirklich erstklassiges Produkt.

Turbomolekularpumpen nEXT55 und nEXT85

Die Pumpen nEXT55 und nEXT85 sind die kompaktesten Pumpen der nEXT-Baureihe, mit deutlich reduzierter Höhe und verbesserter Leistung in einem kleineren Paket. Diese Pumpen bieten Stickstoffpumpgeschwindigkeiten von 55 l/s und 85 l/s und die höchste Pumpdichte aller Pumpen in ihrer Klasse mit einer fast doppelt so schnellen Pumpgeschwindigkeit wie ähnlich große Turbopumpen.

Turbomolekularpumpen nEXT240, nEXT300 und nEXT400

Die Pumpen nEXT240, nEXT300 und nEXT400 setzen Maßstäbe für Turbomolekularpumpen im wissenschaftlichen Bereich und basieren auf jahrzehntelanger Erfahrung sowie unseren bewährten EXT- und STP-Produktreihen. Mit diesen seit langem bewährten Modellen bieten wir eine Vielzahl von Größen und Varianten an, sodass OEMs und Endbenutzer eine größere Auswahl und Flexibilität haben, um die für sie am besten geeignete Vakuumlösung auf ihre individuellen Bedürfnisse zuzuschneiden.

Turbomolekularpumpen nEXT730, nEXT930 und die neue nEXT1230

Mit den Pumpen nEXT730 und nEXT930 erweiterte Edwards das Sortiment unserer marktführenden nEXT-Plattform um zwei größere Pumpen mit Stickstoffpumpgeschwindigkeiten von deutlich über 730 l/s und 925 l/s. Mit der nEXT1230 erweitern wir dies nun zusätzlich um Stickstoffpumpgeschwindigkeiten von 1250 l/s. Diese kompakten Pumpen können in jeder Ausrichtung betrieben werden und werden von einem umfassenden Sortiment an Zubehör für Kühlung, Lüftung, Stromversorgung und Steuerung unterstützt.

Diese Pumpen sind nicht nur für den allgemeinen F&E-Markt gedacht, wo manchmal höhere Pumpendrehzahlen erforderlich sind, sondern orientieren sich auch an den Anforderungen des Beschichtungsmarktes und anderer Marktsegmente wie Wärmebehandlung, Ofenanwendungen, Elektronenstrahlschweißen, Ätzen, Ionenimplantation, Entgasen und Zylinderevakuierung.

nEXT55

nEXT1230

nEXT55 und 85

nEXT240, 300, 400

nEXT730, 930, 1230

 

Nachdem wir mehr als 100.000 bewährte nEXT-Pumpen hergestellt haben, bieten wir jetzt höhere Pumpgeschwindigkeiten und mehr Flexibilität für neue, anspruchsvollere Sektoren und Anwendungen. Diese neuen Modelle erweitern die Leistungsfähigkeit der nEXT mit den Einlassflanschoptionen DN ISO/CF 160 und DN ISO/CF 200.

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Außergewöhnliches Saugvermögen und Verdichtungsverhältnisse

Überragende Leistung

Große Anzahl installierter Turbopumpen

Bewährte Zuverlässigkeit

Maßgeschneiderte Designlösungen auf Wunsch

Flexible Lösungen

Integrierte intelligente Steuerelemente

Bedienerfreundlichkeit

Vollständig vom Endbenutzer wartbar

Verlängerte Lebensdauer und niedrige Betriebskosten

Verbesserte Kundenauswahl

Umfassende Auswahl an Standardausführungen

  nEXT55 nEXT85 nEXT240 nEXT300 nEXT400
Einlassflansch   DN63 ISO-K oder DN63CF DN40 DN63 ISO-K oder DN63CF DN100 ISO-K  DN100 ISO-K oder DN100CF DN100 ISO-K oder DN100CF DN160 ISO-K oder DN160-CF
Einlass-Saugvermögen ls-1 N2 55 47 84 84 240 300 400
Ar 55 44 80 80 230 280 380
He 41 61 78 80/78 (D/H) 230 340 390
H2 27 49/44 (D/H) 60/54 (D/H) 60/54 (D/H) 165 280 325
Verdichtungsverhältnis (D) N2 > 1 x 1011 > 1 x 1011 > 1 x 1011 > 1 x 1011 > 1 x 1011 > 1 x 1011 > 1 x 1011
Ar > 1 x 1011 > 1 x 1011 > 1 x 1011 > 1 x 1011 > 1 x 1011 > 1 x 1011 > 1 x 1011
He   8 x 106/2 x 107 (D/H) 3 x 105 1 x 106 1 x 108
H2   2 x 105/5 x 105 (D/H) 1 x 104 5 x 104 5 x 105
Verdichtungsverhältnis (T/H) N2         > 1 x 1011 > 1 x 1011 > 1 x 1011
He         1 x 106 3 x 106 > 1 x 108
H2         1,5 x 104 1 x 105 1 x 106
  nEXT730D nEXT930D nEXT1230
ISO-K 160 CF 160 ISO-K 200 CF 200 DN 200 CF DN 200 ISO-F DN 200 ISO-K
Haupteinlass
Saugvermögen
 
N2 ls-1 730 925 1250
He ls-1 820 905 1150
H2 ls-1 715 735 1350
Ar ls-1 665 865 1150
Spitzenverdichtungsverhältnis vom Vorvakuumanschluss zum Haupteinlassanschluss  
N2 >1x1011 >1x1011 1 x 1011
He 1,2x108 1,2x108 4 x 108
H2 4x106 4x106 1 x 107
Ar >1x1011 >1x1011 1 x 1011
Endvakuum (mbar) (CF) 3,0x10-10 3,0x10-10 < 5 x 10-10 zeigt einen höheren Druck für ISO-K und ISO-F an
Gewicht (kg) 14,6 19,6 15,4 21,7 32,6 24,9 23,7
Durchsatz bei maximaler Drehzahl:  
N2 14 14 12
He 21 21 <20
H2 >14 >14 <20
Ar 3,5 3,5 4
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