Eine Turbomolekularpumpe ist eine mehrstufige Axialturbine, in der sich Rotorblätter mit hoher Geschwindigkeit drehen und für Kompression sorgen, indem sie die Wahrscheinlichkeit erhöhen, dass sich Gas in die Pumprichtung bewegt. Die Turbomolekularpumpe eignet sich optimal für Molekularströmungsbedingungen und erfordert eine entsprechend bemessene Vorvakuumpumpe, um Abluft gegen Atmosphärendruck abzuführen.
Die nEXT Turbomolekularpumpen sind das Ergebnis jahrzehntelanger Erfahrung und basieren auf unseren erprobten und zuverlässigen EXT und STP Baureihen. nEXT Pumpen bieten überlegene Leistung, Zuverlässigkeit, können vom Endbenutzer gewartet werden und sind der Maßstab für Turbomolekularpumpen im wissenschaftlichen Bereich.
Je nach Pumpengröße ist definitiv eine Saugleistung von 85, 240, 300, 400 Litern pro Sekunde möglich. Wir haben unsere nEXT-Familie (N2) nun um Pumpen mit einer Saugleistung von 700 bzw. 900 Litern ergänzt.
Herkömmliche Turbomolekularpumpenrotoren sind entweder auf hohe Drehzahl oder hohe Verdichtung ausgelegt. Um diesen Kompromiss zu umgehen, wurde die Blätteranordnung des nEXT-Rotors vollständig neu gestaltet, um die Pumpenleistung zu erhöhen sowie höhere Drehzahlen und höhere Kompressionen zu erreichen. Das Endergebnis ist eine hervorragende Pumpleistung für eine Pumpe dieser Größe.
nEXT85 baut auf dem beliebten EXT-Sortiment auf und bietet mehr Leistung, verbesserte Funktionen und Vorteile bei geringerem Platzbedarf. Hier stellt John Wood, Product Manager bei Edwards, Ihnen diese großartige neue Turbomolekularpumpe vor.
Mit den Pumpen nEXT730 und nEXT930 erweitert Edwards die Palette der marktführenden nEXT-Plattform um zwei neue, größere Pumpen mit Geschwindigkeiten von deutlich über 700 l/s und 900 l/s für Stickstoff.
Diese Pumpen sind nicht nur für den allgemeinen F&E-Markt gedacht, wo manchmal höhere Pumpendrehzahlen erforderlich sind, sondern orientieren sich auch an den Anforderungen des Beschichtungsmarktes und anderer umfassender Marktsegmente wie Wärmebehandlung, Ofenanwendungen, Elektronenstrahlschweißen, Ätzen, Ionenimplantation, Entgasen und Zylinderevakuierung.
Nachdem wir mehr als 80.000 bewährte nEXT-Pumpen hergestellt haben, bieten wir jetzt höhere Pumpgeschwindigkeiten und mehr Flexibilität für neue, anspruchsvollere Sektoren und Anwendungen. Diese neuen Modelle erweitern die Leistungsfähigkeit der nEXT mit den Einlassflanschoptionen ISO/CF 160 und ISO/CF 200 und bieten Pumpgeschwindigkeiten von über 900 l/s.
Bietet erstklassige Leistung in Kombination mit hoher Zuverlässigkeit und niedrigen Betriebskosten.
| nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
| Einlassflansch | DN40 | DN63 ISO-K oder DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K oder DN100CF | DN100 ISO-K oder DN100CF | DN160 ISO-K oder DN160-CF | |
| Einlass-Saugvermögen ls-1 | N2 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
| Ar | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
| He | 61 | 78 | 80/78 (D/H) | 230 | 340 | 390 | |
| H2 | 49/44 (D/H) | 60/54 (D/H) | 60/54 (D/H) | 165 | 280 | 325 | |
| Verdichtungsverhältnis (D) | N2 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 |
| Ar | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | |
| He | 8 x 106/2 x 107 (D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | |||
| H2 | 2 x 105/5 x 105 (D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | |||
| Verdichtungsverhältnis (T/H) | N2 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | |||
| He | 1 x 106 | 3 x 106 | > 1 x 108 | ||||
| H2 | 1,5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 | ||||
| nEXT730D | nEXT930D | |||
| ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | |
| Haupteinlass Saugvermögen |
||||
| N2 ls-1 | 730 | 925 | ||
| He ls-1 | 820 | 905 | ||
| H2 ls-1 | 715 | 735 | ||
| Ar ls-1 | 665 | 865 | ||
| Spitzenverdichtungsverhältnis vom Vorvakuumanschluss zum Haupteinlassanschluss | ||||
| N2 | >1x1011 | >1x1011 | ||
| He | 1,2x108 | 1,2x108 | ||
| H2 | 4x106 | 4x106 | ||
| Ar | >1x1011 | >1x1011 | ||
| Endvakuum (mbar) (CF) | 3,0x10-10 | 3,0x10-10 | ||
| Gewicht (kg) | 14,6 | 19,6 | 15,4 | 21,7 |
| Durchsatz bei maximaler Drehzahl: | ||||
| N2 | 14 | 14 | ||
| He | 21 | 21 | ||
| H2 | >14 | >14 | ||
| Ar | 3,5 | 3,5 | ||
