Những phát hiện về xử lý khí thúc đẩy sự đổi mới trong toàn bộ nhà máy

Loại bỏ rủi ro các buổi giới thiệu với khách hàng thất bại.

Tốc độ đổi mới nhanh chóng trong ngành công nghiệp bán dẫn và kỳ vọng ngày càng tăng của thị trường có nghĩa là môi trường R&D phải giữ cho đường ống công nghệ quy trình mới đầy đủ.

Nguyên mẫu và công cụ demo cần có sẵn để thử nghiệm và trình bày mà không bị gián đoạn. Bản demo sản phẩm duy nhất được chấp nhận là sản phẩm hoàn hảo. Chạy thử nghiệm quan trọng có thể tạo ra hoặc phá vỡ sự phát triển sản phẩm mới. Sự cố xử lý không theo kế hoạch có thể tạo ra sự khác biệt trong việc giành được hoặc mất cam kết của một nhà sản xuất chất bán dẫn lớn.

Bản chất thử nghiệm và biến đổi của công việc nghiên cứu và phát triển tạo ra những dao động không thể tránh khỏi trong hệ thống chân không và xử lý khí. Không thể ngăn ngừa nguy cơ xảy ra sự cố ngừng hoạt động ngoài dự kiến theo lịch trình bảo trì theo thời gian.

Để ngăn chặn các sự kiện ngoài kế hoạch trong phòng thí nghiệm phát triển công nghệ và quy trình chính, nhóm SubFab phải theo dõi thủ công tình trạng của thiết bị xử lý mỗi ngày.

Quy trình ghi dữ liệu thủ công này tốn thời gian, có thể xảy ra lỗi do con người và chỉ có thể truy cập bởi nhóm SubFab. Các nhà quản lý công cụ quy trình, bị ảnh hưởng nhiều nhất bởi hiệu suất của thiết bị, không biết về trạng thái hiện tại của SubFab. Ngoài ra, cả hai nhóm đều không thể chia sẻ lịch bảo trì một cách hiệu quả.