팹 전반의 혁신을 주도한 서브팹의 저감 시스템

데모 실패 위험을 배제합니다.

반도체 산업의 빠른 혁신 속도와 증가하는 시장 기대치는 R&D 환경이 새로운 공정 기술의 파이프라인을 온전히 유지해야 한다는 것을 의미합니다.

프로토타입과 데모 장비는 중단 없이 테스트되고 작동해야 합니다. 완벽한 데모 장비만이 허용되어야 하는 이유는 테스트로 인해 신제품을 개발해 낼 수도 있지만 동시에 실패로 이끌 수도 있기 때문입니다. 예기치 않은 저감 시스템의 중단은 주요 반도체 제조업체의 노력이 결실을 맺거나 실패하는 상반된 결과를 만들 수 있습니다.

연구 개발 작업의 실험적이고 가변적인 특성은 진공 및 저감 시스템에 피할 수 없는 변동을 초래하며 일정이 정해져 있는 유지보수는 예기치 않은 가동 중단 사고를 방지할 수 없습니다.

주요 공정 및 기술 개발 실험실에서의 예기치 않은 가동 중단 사고를 방지하기 위해, 관련 팀은 매일 저감 장비의 상태를 수동으로 추적해야 했습니다.

수동으로 데이터를 기록하는 데는 시간이 오래 걸렸고, 입력 오류의 가능성이 있었으며, 데이터에는 특정 인원만 액세스할 수 있어 장비의 성능에 가장 민감한 공정 장비 관리자는 서브팹의 현재 상태를 전혀 알지 못했습니다. 이 외에도 효과적인 방식으로 유지보수 일정을 공유하는 것은 힘든 일이었습니다.