除害の発見がファブ全体のイノベーションを促進
お客様向けデモンストレーションの失敗リスクを排除。
半導体業界の急速なイノベーションと市場の期待の高まりにより、研究開発環境では、新しいプロセス技術のパイプラインを充実させておく必要があります。
試作品やデモツールは、中断することなくテストや展示に使用できなければなりません。受け入れられる製品デモは、完璧なデモだけです。重要な実験的試運転は、新製品開発の成功を左右する可能性があります。予定外の中断は、大手半導体メーカーの契約を獲得するか失うかの分かれ目となります。
研究開発業務の実験的で可変的な特性から、真空システムと除害システムに避けられない変動を生じさせます。時間ベースのメンテナンススケジュールでは、予期せぬダウンイベントのリスクを防ぐことはできません。
主なプロセスおよび技術開発ラボで予定外のダウンイベントを防ぐために、サブファブチームは毎日、除害装置の状態を手動で追跡する必要がありました。
この手作業によるデータ記録には時間がかかり、人為的ミスが起こりやすく、サブファブチームしかアクセスできませんでした。装置の性能に最も影響を受けるプロセスツールマネジャーは、サブファブの現状を把握できませんでした。これに加えて、どちらのチームも、メンテナンススケジュールを効果的に共有することができませんでした。
無秩序なメンテナンスによる研究時間の浪費
両チームの不満は、サブファブ機器のメンテナンスとプロセスツールの調整を行う機会を何度も逃し、ファブの貴重な時間を浪費したことです。
ダウンイベントのリスクを排除するためのより効果的で正確な方法を模索するために、この施設は、当社の支援を求めました。以下のケーススタディをダウンロードして、次に何が起こったかをご覧ください。
この施設がサブファブでどれほど重要な発見をし、ファブ全体の将来のイノベーションを形成したかをご覧ください。
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