廢氣處理系統的發現可帶動整個製造廠的創新

排除客戶示範失敗的風險。

半導體產業的快速創新步調與日益提高的市場期待，意味著研發環境必須保持新製程技術管道的暢通。

原型和示範機台必須可供測試和展示而不中斷。唯一可接受的產品示範是完美無瑕的示範。關鍵的實驗測試運行可以決定新產品開發的成敗。計劃外的減排設備停機可能會影響是否達成主要半導體製造商的承諾。

研究與開發工作的實驗性和變動性質會在真空和減排系統中產生無可避免的波動。在以時間為基礎的維護排程下，無法預防意外停機事件的風險。

為避免在主要製程和技術開發實驗室中發生計畫外的停機事件，SubFab 團隊必須每天手動追蹤減排設備的狀態。

此手動資料記錄程序相當耗時，可能會發生人為錯誤，且只有 SubFab 團隊可以存取。最受設備效能影響的製程機台管理人員，對於 SubFab 的目前狀態卻毫不知情。除此之外，兩個團隊都無法以有效的方式共享維護排程。