Edwards CTI-Cryogenics 8200 Compressor Data sheet
CTI-Cryogenics-compressoren van Edwards
Edwards CTI-Cryogenics biedt een keuze aan compressoren die zijn ontworpen voor maximale prestaties met ingebouwde cryopompen, Cryo-Torr-cryopompen en/of ingebouwde waterpompen.
Een geïntegreerde frequentieomvormer voor de voeding van de cryopomp zorgt voor maximale prestaties van de cryopomp in zowel 50- als 60 Hz-toepassingen voor alle Edwards-vacuümpompen.
8200 Compressor
Deze compressor is ontworpen voor maximale prestaties met ingebouwde cryopompen, ingebouwde waterpompen en Cryo-Torr cryopompen en ondersteunt alle pompen tot acht inch. Omdat de 8200 ontworpen is voor flexibiliteit, kunt u de compressor plaatsen waar het voor uw systeem het handigst is.
9600 Compressor
Deze compressor is speciaal ontworpen voor een lange levensduur, hoge betrouwbaarheid en gebruiksgemak en biedt uitstekende prestaties met alle Cryo-Torr cryopompen, ingebouwde cryopompen, ingebouwde waterpompen en ingebouwde TurboPlus vacuümpompen. De 9600 ondersteunt zowel enkele als gegroepeerde pompconfiguraties en is compatibel met CTI-Cryogenics-pompinstallaties wereldwijd.
9700A Compressor
Met een verhoogde heliumopbrengst is de 9700A Compressor ideaal voor het bedienen van meerdere cryopompen. In veel toepassingen met meerdere cryopompen en waterpompen biedt één 9700A-compressor een enkele compressoroplossing. De 9700A Compressor, die het stroomverbruik, de waterdistributie en de voetafdruk vermindert in vergelijking met meerdere compressortoepassingen, is compatibel met Cryo-Torr en On-Board Cryopumps.
IS-compressoren
IS-1000 Compressor – intelligente, zeer efficiënte compressortechnologie voor ingebouwde IS-cryopompen. De IS-1000 compressor ondersteunt maximaal zes ingebouwde IS-8F cryopompen in dezelfde voetafdruk als een 9600 compressor.
IS-2000V-compressor – levert het laagste energieverbruik in alle bedrijfsfasen via de combinatie van hogere druk, roterende technologie en aanpasbare heliumtoevoer in overeenstemming met de SEMI S-23-doelstellingen. De IS-2000V vervangt twee ingebouwde IS-1000-compressoren. Deze heliumcompressor met hoge capaciteit is ontworpen om toepassingen met ingebouwde IS-cryopompen te ondersteunen. Een geïntegreerde frequentieomvormer voor de cryopomp zorgt voor maximale prestaties van de cryopomp in zowel 50- als 60 Hz-toepassingen.
