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Edwards CTI-Cryogenics 320F XVS 크라이오 펌프 상단 배너

On-Board IS 320F XVS 크라이오 펌프

오늘날의 까다로운 이온 임플란트 응용 분야를 위한 솔루션

새로운 수준의 크라이오 펌프 성능에 도달

수직 위치의 Edwards CTI-Cryogenics On-Board IS 320F XVS 크라이오 펌프

On-Board® IS 320F XVS 크라이오 펌프는 가장 높은 수소 펌핑 성능을 제공하여 공정 수율 및 처리량을 향상시키도록 설계되었으며, 오늘날 이온 임플란트 응용 분야의 당면 과제에 완벽한 해답을 제공하도록 설계되었습니다.크라이오 펌프에 통합된 지능형 시스템 제어로 더 나은 공정 품질, 일관된 진공 수준 및 가동 시간을 보장하는 동시에, 어레이 온도를 최적으로 제어하기 위한 실시간 시스템 정보를 제공합니다. 열/가스 부하 조건 변화에 대한 자동 어댑테이션을 통해 진공 품질이 향상됩니다.

   

특징 및 혜택

  • 세대 간 H2 펌핑 속도 변동 감소
  • 포토레지스트 오염으로 H2 펌핑 속도에 대한 영향 감소
  • 안정적인 어레이 온도 최적화

  • 높은 H2 펌핑 속도 - 15,500L/S
  • 높은 H2 용량 – 40 STD-L

  • On-Board IS 크라이오 펌프 시스템
  • IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS 압축기

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