EXSドライスクリュー真空ポンプ
過酷な産業用途における粗引き速度の高速化と低い到達真空圧
EXSドライスクリュー真空ポンプとその組み合わせ
EXSは実績のあるGXSポンプの技術をベースに、業界をリードする当社の技術的優位性を発揮し、シンプルさと堅牢性を重視して開発されました。より高い性能、シンプルな操作性、低いメンテナンスコストにより、長年にわたり信頼性の高い性能を発揮します。EXSシリーズドライスクリュー真空ポンプには、EXS450、EXS750、EXS750/4200がラインナップされています。
堅牢設計の特長
滑らかな金属板の保護筐体を備えた、手動のガスバラスト制御を備えた信頼性の高い新ガスシステム。
シンプルな電気設計
実績のある内蔵の標準インバータによりシンプルな接続と通信を実現し、保護センサ搭載の電気設計で信頼性と安全性を実現します。
消費電力およびその他水道光熱費の低減
EXSは消費電力とその他水道光熱費を抑えて、二酸化炭素排出量を削減します。汚染されたオイルを廃棄しないため、環境にも配慮した製品です。
粗引き速度の高速化と低い到達真空圧
高速排気とポンプダウンタイムの短縮により、生産性を向上。ドライスクリュー真空ポンプでは最大<1 x 10-2、ポンプとブースターの組み合わせでは最大<1 x 10-3の低い到達圧力を実現します。
非接触型長寿命シール
オイルを遮断するラビリンスシールを備えた非接触型長寿命シールにより、極めて効果的なシーリングを実現します。
高度なコア技術
汎用性のある高品質ベアリングと低蒸気圧型専用オイル。
- アプリケーション
- 技術仕様
- ダウンロード
EXSポンプは、以下のような各種産業用途に最適です。
冶金
- 真空ろう付け
- 電子ビーム溶接
- 浸炭窒化
- 低圧窒化
- 低圧浸炭
- 炭素蒸気含浸
- 焼結
- 金属射出成形
- 精密インベストメント鋳造
- 真空アーク精錬
- 製鋼時のガス抜き
プラズマプロセス
- プラズマ溶接
- プラズマ窒化
チャンバ真空引き
- 宇宙シミュレーションチャンバ
- ガス回収/循環
- ロードロックチャンバ
LED製造
太陽光
- シリコン結晶引き上げ
- PVラミネート
コーティング
- ロールウェブコーティング
- ハードコーティング(CVD/DLC)
- 表面活性化
- プラズマ溶射
- ガラスコーティング
仕様 |
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単位 |
値 |
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EXS450 |
EXS750 |
EXS750/4200 |
一般 |
到達真空圧 |
mbar(Torr) |
<1 x10-2(<8x10-3) |
<1 x10-3(<8x10-4) |
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最大排気速度 |
m3/hr(cfm) |
450(265) |
740(435) |
3450(2032) |
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最大出力 |
kW(hp) |
6(8) |
10.5(14) |
12(16) |
|
全負荷出力 |
11(15) |
22(30) |
24(32) |
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最大ロータ速度 |
rev/min |
6600 |
DP-6600 |
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インレット/アウトレットフランジ |
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ISO100/NW50 |
ISO160/NW50 |
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寸法(mm) |
長さx幅x高さ/mm(インチ) |
1265 x 567 x 642 |
1650 x 567 x 642 |
1650 x 567 x 996 |
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(49.8 x 22.3 x 25.3) |
(65 x 22.3 x 25.3) |
(65 x 22.3 x 39.2) |
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冷却 |
接続 |
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G3/8インチ、メスネジ |
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冷却フロー(常時オン) |
l/min(gal/min) |
10(2.6) |
12(3.2) |
15(4) |
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最大供給圧力 |
barg(psig) |
6.9(100) |
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温度 |
°C(°F) |
5~40(41~104) |
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パージ |
接続 |
|
G1/2インチ、メスネジ |
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圧力 |
barg(psig) |
2.5~6.9(36~100) |
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シャフトシールフロー(常時オン) |
L/分 |
12(3.1) |
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ガスバラストフロー(手動調整) |
L/分 |
1~130(0.2~34.3) |
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運転 |
周囲温度範囲 |
°C(°F) |
5~40(41~104) |
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騒音レベル(サイレンサ装着時) |
dB(A) |
< 64 |
< 70 |
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最大排気背圧 |
bar.a (psig) |
1.2(2.9) |