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EXSドライスクリュー真空ポンプ

過酷な産業用途で粗引き速度の向上と低い到達真空圧を実現

EXSドライスクリューポンプ

EXSドライスクリュー真空ポンプ

EXSは、実績のあるGXSポンプの技術をベースに、業界をリードする当社の技術的優位性を発揮し、シンプルさと堅牢性を重視して開発されました。より高い性能、シンプルな操作性、低いメンテナンスコストにより、長年にわたり信頼性の高い性能を発揮します。EXSシリーズドライスクリュー真空ポンプは、EXS160~750のポンプ単体と、ポンプとブースターを組み合わせたモデルもご用意しております。

EXS 160、EXS 450/4200

堅牢設計の特長

滑らかな金属板の保護筐体を備えた、手動のガスバラスト制御を備えた信頼性の高い新ガスシステム。

シンプルな電気設計

実績のある内蔵の標準インバータによりシンプルな接続と通信を実現し、保護センサ搭載の電気設計で信頼性と安全性を実現します。

消費電力およびその他水道光熱費の低減

EXSは消費電力とその他水道光熱費を抑えて、二酸化炭素排出量を削減します。汚染されたオイルを廃棄しないため、環境にも配慮した製品です。

過酷な産業用途で粗引き速度の向上と低い到達真空圧を実現

高速排気とポンプダウンタイムの短縮により、生産性を向上。ドライスクリュー真空ポンプでは最大<1 x 10-2、ポンプとブースターを組み合わせたモデルでは最大<1 x 10-3の低い到達圧力を実現します。

非接触型長寿命シール

オイルを遮断するラビリンスシールを備えた非接触型長寿命シールにより、極めて効果的なシーリングを実現します。

高度なコア技術

汎用性のある高品質ベアリングと低蒸気圧型専用オイル。 

詳細なデータインサイトと簡単制御

I/O、フィールドバス通信、IoTなどの幅広い接続ソリューションにより、リアルタイムで詳細なインサイトとポンプへのアクセスが可能

EXSポンプは、以下のような各種産業用途に最適です。

リチウムイオンバッテリー 

  • 電極の乾燥 
  • 電極の充填 
  • 形成

冶金

  • 真空ろう付け
  • 電子ビーム溶接
  • 浸炭窒化
  • 低圧窒化
  • 低圧浸炭
  • 炭素蒸気含浸
  • 焼結
  • 金属射出成形
  • 精密インベストメント鋳造
  • 真空アーク精錬
  • 製鋼時のガス抜き

プラズマプロセス

  • プラズマ溶接
  • プラズマ窒化

チャンバ真空引き

  • 宇宙シミュレーションチャンバ
  • ガス回収/循環
  • ロードロックチャンバ

太陽光

  • シリコン結晶引き上げ 
  • PVラミネート

コーティング

  • ロールウェブコーティング
  • ハードコーティング(CVD/DLC)
  •  表面活性化
  • プラズマ溶射
  • ガラスコーティング
仕様 単位 EXS160 EXS160/1750 EXS250 EXS250/2600
一般 到達真空度 mbar (Torr) 1 x 10-2(8 x 10-3 < 1 x 10-3(< 8 x 10-4 1 x 10-2(8 x 10-3 < 1 x 10-3(< 8 x 10-4
ピークポンプ速度 m3/hr(cfm) 160(94) 1200(706) 250(147) 1900(1118)
最大ローター速度 rev/min 6600 DP:6600
MB:6120
6600 DP:6600
MB:6120
インレット/アウトレット   ISO63/NW40 ISO100/NW40 ISO63/NW40 ISO160/NW40
電動式 電源供給 V 380~460V 3Ph
50/60 Hz
200~230V 3Ph
50/60 Hz
380~460V 3Ph
50/60 Hz
200~230V 3Ph
50/60 Hz
380~460V 3Ph
50/60 Hz
200~230V 3Ph
50/60 Hz
380~460V 3Ph
50/60 Hz
200~230V 3Ph
50/60 Hz
最大出力 kW(hp) 3.8(5.1) 5.1(6.8) 4.0(5.4) 5.3(7.1)
全負荷出力 kW(hp) 5.0(6.7) 7.4(9.9) 9.0(12.1) 9.7(13.0)
冷却 接続 インチ ⅜インチBSPオス
冷却フロー(常時オン) L/分
(gal/min)
4.0(1.1) 7.0(1.9) 4.0(1.1) 7.0(1.9)
最小差圧 バール 1
最大供給圧力 barg(psig) 6.9(100)
温度 °C(°F) 5~40(41~104)
パージ 接続 インチ ½インチBSPオス
圧力 barg(psig) 2.5~6.9(36~100)
シャフトシールフロー(常時オン) L/分
(gal/min)
12(3.17)
ガスバラストフロー(手動調整) L/分
(gal/min)
0~50(0~13.2)
運転 周囲温度範囲 °C(°F) 5~40(41~104)
ノイズレベル(サイレンサ装着時) dB(A) < 64
最大排気背圧 bara(psig) 1.2(17.4)
潤滑 オイル   PFPE Drynert 25/6
  オイル量 l(ガロン) 0.7(0.2) 1.4(0.4) 0.7(0.2) 1.4(0.4)
仕様 単位 EXS450 EXS450/2600 EXS450/4200 EXS750 EXS750/2600 EXS750/4200
一般 到達真空度 mbar (Torr) 1 x 10-2(8 x 10-3 < 1 x 10-3(< 8 x 10-4 < 1 x 10-3(< 8 x 10-4)  1 x 10-2(8 x 10-3 < 1 x 10-3(< 8 x 10-4 < 1 x 10-3(< 8 x 10-4
ピークポンプ速度 m3/hr(cfm) 450(265) 2200(1295) 3026(1781) 740(435) 2300(1354) 3450(2032)
最大ローター速度 rev/min 6600 DP:6600
MB:6120
DP:6600
MB:6120
6600 DP:6600
MB:6120
DP:6600
MB:6120
インレット/アウトレット   ISO100/NW50 ISO160/ISO63 ISO160/ISO63 ISO100/NW50 ISO160/ISO63 ISO160/ISO63 
電動式 電源供給 V 380~460V 3Ph
50/60 Hz
200~230V 3Ph
50/60 Hz
380~460V 3Ph
50/60 Hz
200~230V 3Ph
50/60 Hz
380~460V 3Ph
50/60 Hz
200~230V 3Ph
50/60 Hz
380~460、三相、50/60Hz 380~460、三相、50/60Hz 380~460、三相、50/60Hz 
最大出力 kW(hp) 7.2(9.6) 8.8(11.8) 9.4(12.6) 10.5(14) 11.1(14.9)  12(16)
全負荷出力 kW(hp) 17.3(23.2) 16(21.5)  18.5(24.8) 22(30) 24(32.2) 24(32.2)
冷却 接続 インチ ⅜インチBSPオス
冷却フロー(常時オン) L/分
(gal/min)
10(2.6) 12(3.2) 12(3.2) 12(3.2) 15(4) 15(4)
最小差圧 バール 1
最大供給圧力 barg(psig) 6.9(100)
温度 °C(°F) 5~40(41~104)
パージ 接続 インチ ½インチBSPオス
圧力 barg(psig) 2.5~6.9(36~100)
シャフトシールフロー(常時オン) L/分
(gal/min)
12(3.17)
ガスバラストフロー(手動調整) L/分
(gal/min)
0~130(0~34.3)
運転 周囲温度範囲 °C(°F) 5~40(41~104)
ノイズレベル(サイレンサ装着時) dB(A) < 64 < 70
最大排気背圧 bara(psig) 1.2(17.4)
潤滑 オイル   PFPE Drynert 25/6
オイル量 l(ガロン) 1.8(0.5) 2.5(0.7) 3.6(1.0) 2.4(0.6) 3.1(0.8)  4.2(1.1)
EXS Dry Screw Vacuum Pump - Brochure

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