EXSドライスクリュー真空ポンプ
過酷な産業用途で粗引き速度の向上と低い到達真空圧を実現
EXSドライスクリュー真空ポンプ
EXSは、実績のあるGXSポンプの技術をベースに、業界をリードする当社の技術的優位性を発揮し、シンプルさと堅牢性を重視して開発されました。より高い性能、シンプルな操作性、低いメンテナンスコストにより、長年にわたり信頼性の高い性能を発揮します。EXSシリーズドライスクリュー真空ポンプは、EXS160~750のポンプ単体と、ポンプとブースターを組み合わせたモデルもご用意しております。
堅牢設計の特長
滑らかな金属板の保護筐体を備えた、手動のガスバラスト制御を備えた信頼性の高い新ガスシステム。
シンプルな電気設計
実績のある内蔵の標準インバータによりシンプルな接続と通信を実現し、保護センサ搭載の電気設計で信頼性と安全性を実現します。
消費電力およびその他水道光熱費の低減
EXSは消費電力とその他水道光熱費を抑えて、二酸化炭素排出量を削減します。汚染されたオイルを廃棄しないため、環境にも配慮した製品です。
過酷な産業用途で粗引き速度の向上と低い到達真空圧を実現
高速排気とポンプダウンタイムの短縮により、生産性を向上。ドライスクリュー真空ポンプでは最大<1 x 10-2、ポンプとブースターを組み合わせたモデルでは最大<1 x 10-3の低い到達圧力を実現します。
非接触型長寿命シール
オイルを遮断するラビリンスシールを備えた非接触型長寿命シールにより、極めて効果的なシーリングを実現します。
高度なコア技術
汎用性のある高品質ベアリングと低蒸気圧型専用オイル。
詳細なデータインサイトと簡単制御
I/O、フィールドバス通信、IoTなどの幅広い接続ソリューションにより、リアルタイムで詳細なインサイトとポンプへのアクセスが可能
- アプリケーション
- 技術仕様
- ダウンロード
EXSポンプは、以下のような各種産業用途に最適です。
リチウムイオンバッテリー
- 電極の乾燥
- 電極の充填
- 形成
冶金
- 真空ろう付け
- 電子ビーム溶接
- 浸炭窒化
- 低圧窒化
- 低圧浸炭
- 炭素蒸気含浸
- 焼結
- 金属射出成形
- 精密インベストメント鋳造
- 真空アーク精錬
- 製鋼時のガス抜き
プラズマプロセス
- プラズマ溶接
- プラズマ窒化
チャンバ真空引き
- 宇宙シミュレーションチャンバ
- ガス回収/循環
- ロードロックチャンバ
太陽光
- シリコン結晶引き上げ
- PVラミネート
コーティング
- ロールウェブコーティング
- ハードコーティング(CVD/DLC)
- 表面活性化
- プラズマ溶射
- ガラスコーティング
仕様 | 単位 | EXS160 | EXS160/1750 | EXS250 | EXS250/2600 | |
一般 | 到達真空度 | mbar (Torr) | 1 x 10-2(8 x 10-3) | < 1 x 10-3(< 8 x 10-4) | 1 x 10-2(8 x 10-3) | < 1 x 10-3(< 8 x 10-4) |
ピークポンプ速度 | m3/hr(cfm) | 160(94) | 1200(706) | 250(147) | 1900(1118) | |
最大ローター速度 | rev/min | 6600 | DP:6600 MB:6120 |
6600 | DP:6600 MB:6120 |
|
インレット/アウトレット | ISO63/NW40 | ISO100/NW40 | ISO63/NW40 | ISO160/NW40 | ||
電動式 | 電源供給 | V | 380~460V 3Ph 50/60 Hz 200~230V 3Ph 50/60 Hz |
380~460V 3Ph 50/60 Hz 200~230V 3Ph 50/60 Hz |
380~460V 3Ph 50/60 Hz 200~230V 3Ph 50/60 Hz |
380~460V 3Ph 50/60 Hz 200~230V 3Ph 50/60 Hz |
最大出力 | kW(hp) | 3.8(5.1) | 5.1(6.8) | 4.0(5.4) | 5.3(7.1) | |
全負荷出力 | kW(hp) | 5.0(6.7) | 7.4(9.9) | 9.0(12.1) | 9.7(13.0) | |
冷却 | 接続 | インチ | ⅜インチBSPオス | |||
冷却フロー(常時オン) | L/分 (gal/min) |
4.0(1.1) | 7.0(1.9) | 4.0(1.1) | 7.0(1.9) | |
最小差圧 | バール | 1 | ||||
最大供給圧力 | barg(psig) | 6.9(100) | ||||
温度 | °C(°F) | 5~40(41~104) | ||||
パージ | 接続 | インチ | ½インチBSPオス | |||
圧力 | barg(psig) | 2.5~6.9(36~100) | ||||
シャフトシールフロー(常時オン) | L/分 (gal/min) |
12(3.17) | ||||
ガスバラストフロー(手動調整) | L/分 (gal/min) |
0~50(0~13.2) | ||||
運転 | 周囲温度範囲 | °C(°F) | 5~40(41~104) | |||
ノイズレベル(サイレンサ装着時) | dB(A) | < 64 | ||||
最大排気背圧 | bara(psig) | 1.2(17.4) | ||||
潤滑 | オイル | PFPE Drynert 25/6 | ||||
オイル量 | l(ガロン) | 0.7(0.2) | 1.4(0.4) | 0.7(0.2) | 1.4(0.4) |
仕様 | 単位 | EXS450 | EXS450/2600 | EXS450/4200 | EXS750 | EXS750/2600 | EXS750/4200 | |
一般 | 到達真空度 | mbar (Torr) | 1 x 10-2(8 x 10-3) | < 1 x 10-3(< 8 x 10-4) | < 1 x 10-3(< 8 x 10-4) | 1 x 10-2(8 x 10-3) | < 1 x 10-3(< 8 x 10-4) | < 1 x 10-3(< 8 x 10-4) |
ピークポンプ速度 | m3/hr(cfm) | 450(265) | 2200(1295) | 3026(1781) | 740(435) | 2300(1354) | 3450(2032) | |
最大ローター速度 | rev/min | 6600 | DP:6600 MB:6120 |
DP:6600 MB:6120 |
6600 | DP:6600 MB:6120 |
DP:6600 MB:6120 |
|
インレット/アウトレット | ISO100/NW50 | ISO160/ISO63 | ISO160/ISO63 | ISO100/NW50 | ISO160/ISO63 | ISO160/ISO63 | ||
電動式 | 電源供給 | V | 380~460V 3Ph 50/60 Hz 200~230V 3Ph 50/60 Hz |
380~460V 3Ph 50/60 Hz 200~230V 3Ph 50/60 Hz |
380~460V 3Ph 50/60 Hz 200~230V 3Ph 50/60 Hz |
380~460、三相、50/60Hz | 380~460、三相、50/60Hz | 380~460、三相、50/60Hz |
最大出力 | kW(hp) | 7.2(9.6) | 8.8(11.8) | 9.4(12.6) | 10.5(14) | 11.1(14.9) | 12(16) | |
全負荷出力 | kW(hp) | 17.3(23.2) | 16(21.5) | 18.5(24.8) | 22(30) | 24(32.2) | 24(32.2) | |
冷却 | 接続 | インチ | ⅜インチBSPオス | |||||
冷却フロー(常時オン) | L/分 (gal/min) |
10(2.6) | 12(3.2) | 12(3.2) | 12(3.2) | 15(4) | 15(4) | |
最小差圧 | バール | 1 | ||||||
最大供給圧力 | barg(psig) | 6.9(100) | ||||||
温度 | °C(°F) | 5~40(41~104) | ||||||
パージ | 接続 | インチ | ½インチBSPオス | |||||
圧力 | barg(psig) | 2.5~6.9(36~100) | ||||||
シャフトシールフロー(常時オン) | L/分 (gal/min) |
12(3.17) | ||||||
ガスバラストフロー(手動調整) | L/分 (gal/min) |
0~130(0~34.3) | ||||||
運転 | 周囲温度範囲 | °C(°F) | 5~40(41~104) | |||||
ノイズレベル(サイレンサ装着時) | dB(A) | < 64 | < 70 | |||||
最大排気背圧 | bara(psig) | 1.2(17.4) | ||||||
潤滑 | オイル | PFPE Drynert 25/6 | ||||||
オイル量 | l(ガロン) | 1.8(0.5) | 2.5(0.7) | 3.6(1.0) | 2.4(0.6) | 3.1(0.8) | 4.2(1.1) |