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EXSドライスクリュー真空ポンプ

過酷な産業用途における粗引き速度の高速化と低い到達真空圧

EXSドライスクリュー真空ポンプ

EXSドライスクリュー真空ポンプとその組み合わせ

EXSは実績のあるGXSポンプの技術をベースに、業界をリードする当社の技術的優位性を発揮し、シンプルさと堅牢性を重視して開発されました。より高い性能、シンプルな操作性、低いメンテナンスコストにより、長年にわたり信頼性の高い性能を発揮します。EXSシリーズドライスクリュー真空ポンプには、EXS450、EXS750、EXS750/4200がラインナップされています。

EXSドライスクリュー真空ポンプの組み合わせEXS 450、750、750/4200の画像

堅牢設計の特長

滑らかな金属板の保護筐体を備えた、手動のガスバラスト制御を備えた信頼性の高い新ガスシステム。

シンプルな電気設計

実績のある内蔵の標準インバータによりシンプルな接続と通信を実現し、保護センサ搭載の電気設計で信頼性と安全性を実現します。

消費電力およびその他水道光熱費の低減

EXSは消費電力とその他水道光熱費を抑えて、二酸化炭素排出量を削減します。汚染されたオイルを廃棄しないため、環境にも配慮した製品です。

粗引き速度の高速化と低い到達真空圧

高速排気とポンプダウンタイムの短縮により、生産性を向上。ドライスクリュー真空ポンプでは最大<1 x 10-2、ポンプとブースターの組み合わせでは最大<1 x 10-3の低い到達圧力を実現します。

非接触型長寿命シール

オイルを遮断するラビリンスシールを備えた非接触型長寿命シールにより、極めて効果的なシーリングを実現します。

高度なコア技術

汎用性のある高品質ベアリングと低蒸気圧型専用オイル。 

EXSポンプは、以下のような各種産業用途に最適です。

冶金

  • 真空ろう付け
  • 電子ビーム溶接
  • 浸炭窒化
  • 低圧窒化
  • 低圧浸炭
  • 炭素蒸気含浸
  • 焼結
  • 金属射出成形
  • 精密インベストメント鋳造
  • 真空アーク精錬
  • 製鋼時のガス抜き

プラズマプロセス

  • プラズマ溶接
  • プラズマ窒化

チャンバ真空引き

  • 宇宙シミュレーションチャンバ
  • ガス回収/循環
  • ロードロックチャンバ

LED製造

太陽光

  • シリコン結晶引き上げ 
  • PVラミネート

コーティング

  • ロールウェブコーティング
  • ハードコーティング(CVD/DLC)
  •  表面活性化
  • プラズマ溶射
  • ガラスコーティング

仕様

 

単位

 

 

 

EXS450

EXS750

EXS750/4200

一般

到達真空圧

mbar(Torr)

<1 x10-2(<8x10-3

<1 x10-3(<8x10-4

最大排気速度

m3/hr(cfm)

450(265)

740(435)

3450(2032)

最大出力

kW(hp)

6(8)

10.5(14)

12(16)

全負荷出力

11(15)

22(30)

24(32)

最大ロータ速度

rev/min

6600

DP-6600
MB-6120

インレット/アウトレットフランジ

 

ISO100/NW50

ISO160/NW50

寸法(mm)

長さx幅x高さ/mm(インチ)

1265 x 567 x 642

1650 x 567 x 642

1650 x 567 x 996

(49.8 x 22.3 x 25.3)

(65 x 22.3 x 25.3)

(65 x 22.3 x 39.2)

冷却

接続

 

G3/8インチ、メスネジ

冷却フロー(常時オン)

l/min(gal/min)

10(2.6)

12(3.2)

15(4)

最大供給圧力

barg(psig)

6.9(100)

温度

°C(°F)

5~40(41~104)

パージ

接続

 

G1/2インチ、メスネジ

圧力

barg(psig)

2.5~6.9(36~100)

シャフトシールフロー(常時オン)

L/分

12(3.1)

ガスバラストフロー(手動調整)

L/分

1~130(0.2~34.3)

運転

周囲温度範囲

°C(°F)

5~40(41~104)

騒音レベル(サイレンサ装着時)

dB(A)

< 64

< 70

最大排気背圧

bar.a (psig)

1.2(2.9)

笑顔で廊下に立つエドワーズの従業員
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