Your browser is not supported

Nous ne prenons plus en charge le navigateur que vous utilisez. Pour continuer à consulter notre site web, veuillez utiliser l'un des navigateurs pris en charge suivants.

Search Edwards Vacuum

Pompes sèches à vis EXS

Vitesse de pompage accrue au démarrage et excellent vide limite pour les applications industrielles difficiles

Pompe sèche à vis EXS

Pompes sèches à vis EXS

Basée sur la même technologie que celle de nos pompes GXS, la pompe EXS a été conçue pour offrir les avantages de notre technologie de pointe dans un ensemble focalisé sur la simplicité et la robustesse. Avec des performances améliorées, dotée d'un contrôle simple et ne générant que de faibles coûts de maintenance, l'EXS assurera des performances fiables pendant de nombreuses années. Notre série EXS de pompes à vide à vis sèches EXS160~750 est disponible combinée avec une pompe mécanique.

EXS 160, EXS 450/4200

Conception robuste

Nouveau système fiable pour les gaz avec contrôle manuel du lest d'air et caisson de protection en tôle d'acier lisse.

Système électrique simple

Variateur intégré et prêt à l'emploi pour une simplicité de connexion et de communication. Capteurs de protection installés, conception électrique garantissant fiabilité et sécurité.

Faible consommation d'énergie et de consommables

La pompe EXS présente une faible empreinte carbone grâce à sa faible consommation électrique et de consommables. De plus, comme il n’y a pas d’huile usagée ou contaminée à recycler, elle respecte l'environnement.

Vitesse de pompage accrue au démarrage et excellent vide limite

Gagnez en productivité grâce à un pompage plus rapide au démarrage et à des temps d’arrêt plus courts : vide limite pouvant atteindre <1 x 10-2 pour les pompes à vide à vis sèches et <1 x 10-3 pour la combinaison pompe/pompes mécaniques Roots.

Joints sans contact longue durée

Joints sans contact longue durée avec joint de type labyrinthe anti-huile assurant une très grande étanchéité.

Technologie de pointe éprouvée

Utilisation de roulements de qualité supérieure et d'une huile spéciale avec une pression de vapeur basse, pour une meilleure compatibilité avec les applications. 

Informations détaillées des données et contrôle facile

Une grande variété de solutions de connectivité, y compris les E/S, la communication par bus de terrain et l'IdO, permet d'obtenir des informations détaillées en temps réel et d'accéder à la pompe.

La pompe EXS convient à un large éventail d'applications dans divers secteurs, notamment :

Batterie lithium-ion 

  • Séchage d'électrode 
  • Remplissage d'électrolyte 
  • Formation

Métallurgie

  • Brasage à vide
  • Soudage par faisceau d'électrons
  • Nitrocarburation
  • Nitruration basse pression
  • Carburation basse pression
  • Imprégnation des vapeurs de carbone
  • Trempage
  • Moulage par injection de métaux
  • Moulage de précision
  • Affinage à arc sous vide
  • Dégazage de l'acier

Traitements plasma

  • Soudage au plasma
  • Nitruration au plasma

Vidange de chambre de vide

  • Chambres de simulation d'espace
  • Récupération/circulation de gaz
  • Chambres de sas de charge

Energie solaire

  • Tirage de cristaux en silicone 
  • Laminage PV

Dépôt sous vide

  • Dépôt au rouleau/enduction
  • Dépôt dur (CVD/DLC)
  •  Activation de surface
  • Projection au plasma
  • Dépôt sur verre
Caractéristiques Unité EXS160 EXS160/1750 EXS250 EXS250/2600
Remarque d'ordre général Vide limite mbar (Torr) 1x10-2 (8x10-3) <1x10-3 (<8x10-4) 1x10-2 (8x10-3) <1x10-3 (<8x10-4)
Débit maximum m3/h (cfm) 160 (94) 1 200 (706) 250 (147) 1 900 (1 118)
Vitesse maximum du rotor Tr/min 6 600 Pression différentielle : 6 600
MB : 6 120
6 600 DP : 6600
MB : 6 120
Entrée/sortie   ISO63/NW40 ISO100/NW40 ISO63/NW40 ISO160/NW40
Electrique Alimentation électrique V 380-460 V 3 Ph
50/60 Hz
200-230 V 3 Ph
50/60 Hz
380-460 V 3 Ph
50/60 Hz
200-230 V 3 Ph
50/60 Hz
380-460 V 3 Ph
50/60 Hz
200-230 V 3 Ph
50/60 Hz
380-460 V 3 Ph
50/60 Hz
200-230 V 3 Ph
50/60 Hz
Puissance ultime kW (ch) 3,8 (5,1) 5,1 (6,8) 4,0 (5,4) 5,3 (7,1)
Puissance à pleine charge kW (ch) 5,0 (6,7) 7,4 (9,9) 9,0 (12,1) 9,7 (13,0)
Refroidissement Connexion inch BSP ⅜" mâle
Débit de refroidissement (toujours activé) l/min
(gal/min)
4,0 (1,1) 7,0 (1,9) 4,0 (1,1) 7,0 (1,9)
Pression différentielle minimale bar 1
Pression d'alimentation maximale barg (psig) 6,9 (100)
Température °C (°F) 5-40 (41-104)
Purge Connexion inch BSP ½" mâle
Pression barg (psig) 2,5-6,9 (36-100)
Débit du joint d'arbre (toujours activé) l/min
(gal/min)
12 (3,17)
Débit du lest d'air (réglage manuel) l/min
(gal/min)
0-50 (0-13,2)
Opération Plage de température ambiante °C (°F) 5-40 (41-104)
Niveau sonore avec silencieux dB(A) < 64
Contre-pression d'échappement maximale bara (psig) 1,2 (17,4)
Lubrification Huile   PFPE Drynert 25/6
  Volume d'huile l (gal) 0,7 (0,2) 1,4 (0,4) 0,7 (0,2) 1,4 (0,4)
Caractéristiques Unité EXS450 EXS450/2600 EXS450/4200 EXS750 EXS750/2600 EXS750/4200
Remarque d'ordre général Vide limite mbar (Torr) 1x10-2 (8x10-3) <1x10-3 (<8x10-4) <1x10-3 (<8x10-4 1x10-2 (8x10-3) <1x10-3 (<8x10-4) <1x10-3 (<8x10-4)
Débit maximum m3/h (cfm) 450 (265) 2 200 (1 295) 3 026 (1 781) 740 (435) 2 300 (1 354) 3450 (2032)
Vitesse maximum du rotor Tr/min 6 600 DP : 6600
MB : 6 120
DP : 6600
MB : 6 120
6 600 DP : 6600
MB : 6 120
DP : 6600
MB : 6 120
Entrée/sortie   ISO100/NW50 ISO160/ISO63 ISO160/ISO63 ISO100/NW50 ISO160/ISO63 ISO160/ISO63 
Electrique Alimentation électrique V 380-460 V 3 Ph
50/60 Hz
200-230 V 3 Ph
50/60 Hz
380-460 V 3 Ph
50/60 Hz
200-230 V 3 Ph
50/60 Hz
380-460 V 3 Ph
50/60 Hz
200-230 V 3 Ph
50/60 Hz
380 - 460 3 Ph 50/60 Hz 380 - 460 3 Ph 50/60 Hz 380 - 460 3 Ph 50/60 Hz 
Puissance ultime kW (ch) 7,2 (9,6) 8,8 (11,8) 9,4 (12,6) 10,5 (14) 11,1 (14,9)  12 (16)
Puissance à pleine charge kW (ch) 17,3 (23,2) 16 (21,5)  18,5 (24,8) 22 (30) 24 (32,2) 24 (32,2)
Refroidissement Connexion inch BSP ⅜" mâle
Débit de refroidissement (toujours activé) l/min
(gal/min)
10 (2,6) 12 (3,2) 12 (3,2) 12 (3,2) 15 (4) 15 (4)
Pression différentielle minimale bar 1
Pression d'alimentation maximale barg (psig) 6,9 (100)
Température °C (°F) 5-40 (41-104)
Purge Connexion inch BSP ½" mâle
Pression barg (psig) 2,5-6,9 (36-100)
Débit du joint d'arbre (toujours activé) l/min
(gal/min)
12 (3,17)
Débit du lest d'air (réglage manuel) l/min
(gal/min)
0-130 (0-34,3)
Opération Plage de température ambiante °C (°F) 5-40 (41-104)
Niveau sonore avec silencieux dB(A) < 64 < 70
Contre-pression d'échappement maximale bara (psig) 1,2 (17,4)
Lubrification Huile   PFPE Drynert 25/6
Volume d'huile l (gal) 1,8 (0,5) 2,5 (0,7) 3,6 (1,0) 2,4 (0,6) 3,1 (0,8)  4,2 (1,1)
EXS Dry Screw Vacuum Pump brochure

PDF

10.1 MB

PDF

10.1 MB

EXS Dry Screw Vacuum Pump Did You Know Poster

PDF

514.6 kB

Employés d'Edwards souriant, debout dans un couloir
SOLUTIONS DE SERVICES

En savoir plus sur nos Solutions de service