Rapido raggiungimento dei livelli di vuoto più bassi
I chiller criogenici MaxCool Polycold® di Edwards sono sistemi di refrigerazione criogenica a struttura chiusa che catturano efficacemente il vapore acqueo, che comprende dal 65% al 95% del gas residuo nei sistemi ad alto vuoto.
Questi chiller criogenici possono essere utilizzati per catturare il vapore acqueo e altre sostanze condensabili congelandoli su una superficie fredda, ad esempio una spirale criogenica o un deflettore. I chiller MaxCool vengono utilizzati anche per raffreddare e riscaldare oggetti come i mandrini elettrostatici utilizzati nella lavorazione di wafer semiconduttori. I diversi modelli della nostra gamma offrono 2.000, 2.500 o 4.000 watt di raffreddamento.
Pompaggio del vapore acqueo
Il vapore acqueo è in genere il contaminante più reattivo presente nei sistemi ad alto vuoto. Con i nostri chiller criogenici MaxCool è possibile aspettarsi un aumento della produttività del sistema esistente dal 20% al 100% e una migliore qualità dei depositi.
Vantaggi di MaxCool
- Tempi di evacuazione dell'alto vuoto ridotti fino al 75%
- Aumento della produttività dal 20% al 100%
- Minore pressione parziale del vapore acqueo durante la lavorazione per una maggiore qualità, una migliore adesione e una deposizione maggiormente riproducibile del film
- Rapido ritorno sull'investimento grazie all'eliminazione dei costi ricorrenti per l'acquisto dell'azoto liquido
- Riduzione al minimo dei costi di proprietà grazie al sistema di gestione dell'energia
- Raffreddamento e riscaldamento ad alta capacità per un'ampia varietà di processi
Se aggiunti al sistema per vuoto, i chiller criogenici MaxCool possono ridurre drasticamente i tempi di pompaggio e aumentare la resa dei prodotti. I MaxCool pompano vapore acqueo entro pochi minuti dall'avvio e possono sbrinare in meno di quattro minuti, garantendo un ciclo estremamente rapido.
Utilizzando miscele di refrigerante Polycold® brevettate, i nostri chiller criogenici MaxCool si basano sul principio dell'intrappolamento Meissner. Il vapore acqueo viene catturato per condensa su una superficie raffreddata criogenicamente, chiamata bobina Meissner. La bobina Meissner è montata direttamente nella camera a vuoto in modo che la conduttanza non sia limitata da porte, collettori, valvole e deflettori. La bobina criogenica è facile da installare e può essere adattata a qualsiasi sistema. Non richiede una valvola per alto vuoto.
I chiller criogenici MaxCool costituiscono l'upgrade più economico che è possibile aggiungere a qualsiasi sistema con pompa a diffusione, pompa turbo o criogenica all'elio.
I chiller criogenici MaxCool sono conformi ai refrigeranti per applicazioni europee (CE 1005/2009) al Protocollo di Montreal e a EPA SNAP statunitense.
Vantaggi
- Opzione per la gestione dell'alimentazione per ridurre al minimo i costi di proprietà
- Controllo della temperatura
- Il carico di refrigerante ecologico brevettato è conforme a livello globale non tossico e non infiammabile
- Basato sul collaudato, innovativo e affidabile raffreddamento a gas misto Polycold®
- Conforme alle norme UE PED ed MD
- Certificato TUV Rheinland secondo gli standard di sicurezza NRTL/CANADA
- Produttore certificato ISO 9001:2008
Specifiche dei modelli MaxCool
|
MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Capacità di raffreddamento massima |
2.000 W |
2.500 W |
4.000 W |
Temperatura alla capacità di raffreddamento massima |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Temperatura più bassa |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Pressione di esercizio finale (25% della velocità di pompaggio massima) |
3E-9 torr |
8E-10 torr |
5E-8 torr |
Area trappola fredda tipica |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Massima velocità di pompaggio del vapore acqueo dalla tipica area trappola fredda |
163.900 l/s |
208.600 l/s |
327.800 l/s |
Area trappola fredda massima conservativa* |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Consumo elettrico (modalità standby) |
5,5 kW |
11,4 kW |
12,0 kW |
Consumo elettrico (modalità raffreddamento, carico tipico) |
6,2 kW |
13,9 kW |
12,4 kW |
Consumo elettrico (modalità raffreddamento, carico massimo) |
8,8 kW |
19,2 kW |
19,2 kW |
Flusso dell'acqua di raffreddamento per 13 °C |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Flusso dell'acqua di raffreddamento per 18 °C |
9,1 l/min |
18,2 l/min |
18,2 l/min |
Flusso dell'acqua di raffreddamento per 24 °C |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Flusso dell'acqua di raffreddamento per 29 °C |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Conformità PED europea |
Sì |
Sì |
Sì |
Refrigeranti atossici |
Sì |
Sì |
Sì |
Refrigeranti non infiammabili |
Sì |
Sì |
Sì |
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2000 535.8 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2500L 542.4 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 4000H 544.5 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet MaxCool Cryochillers 772.3 kB, PDF
